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真空ポンプの高温均熱化構造に関わる特許が評価された。同技術はポンプのケーシング内に複数の伝熱材を挿入、さらにポンプ室吸気側、排気側の形状を工夫したもの。ポンプの運転に伴い発生するガス圧縮熱をポンプ室全...
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真空ポンプの高温均熱化構造に関わる特許が評価された。同技術はポンプのケーシング内に複数の伝熱材を挿入、さらにポンプ室吸気側、排気側の形状を工夫したもの。ポンプの運転に伴い発生するガス圧縮熱をポンプ室全...
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