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ダイセルはレジスト向けにポリマーや溶剤を供給している。... ダイセルのフッ化アルゴン(ArF)レジスト用ポリマー事業は05年頃に立ち上がり、10年頃からシェアが拡大し始めたという。....

渡辺哲也執行役員経営企画本部長は「ArFレジスト市場は、今後10年は伸び続けると考えている。... ArFレジストの需要拡大とEUVレジストの進展を踏まえ、両レジスト用モノマーが生産可能な設備とする。...

住友化学、韓でフォトレジスト 需要増・BCP対応 (2021/9/1 素材・医療・ヘルスケア)

100%子会社の東友ファインケム益山工場に液浸フッ化アルゴン(ArF)レジストの製造プラントを建設し、2024年度上期に稼働する。... 大阪工場では既存建屋に液浸ArFと極端...

同設備では、液浸フッ化アルゴン(ArF)や極端紫外線(EUV)プロセス向けレジストを生産する。... 同社は液浸ArFレジストで高いシェアを持つ。EUVレジストも採用が...

富士フ、24年にEUVレジストのシェア10%へ (2021/1/5 素材・医療・ヘルスケア)

FFEMはEUVレジストの開発や生産に向け、今回の検査装置導入を含め計45億円を投資した。液浸フッ化アルゴン(ArF)レジストなどで培った知見も生かす。現在、信越化学工業などがEUVレ...

ニュース拡大鏡/住化、5G関連素材の事業化を加速 (2020/10/26 素材・医療・ヘルスケア)

EUVレジスト生産開始/基礎化学研究も 住友化学は、第5世代通信(5G)関連素材の事業化を加速する。... 現在、100層以上の半導体の中でEUV露光はわず...

1968年には日本初の半導体レジストの製造を開始以来、常に世界半導体レジスト大手メーカーの一角を占め、長年培ってきた高度なフォトリソグラフィ技術や生産管理をベースに、極端紫外線(EUV)...

ArF用レジストの主な需要地は日本ではない。それでも静岡での生産を貫くのは、ArFレジストの開発・生産と品質保証・管理に高額な設備が欠かせないためだ。... 2016年にはArF用レジストや周辺材料の...

「最近はArFレジスト用感光材や光酸発生剤などの高付加価値品の開発依頼が増えている。

当面は主流であるフッ化アルゴン(ArF)レジストで、世界シェア4割以上を目指す」 ―アナログ技術に付加価値を見いだす戦略を進めていますね。

JSRは22日、次世代半導体製造プロセスであるダブルパターニング向けに、トップコート不要の自己架橋型フッ化アルゴン(ArF)フォトレジストを開発したと発表した。... なお同レジストを...

(藤木信穂) 【業界標準材料に】 開発したフッ化アルゴン(ArF)レジストは波長193ナノメートル(ナノは10億分の1)のArFエキシマ...

【大河内記念生産特賞】▽超々臨界圧石炭火力発電を実現させたステンレスボイラーチューブの開発(住友金属工業) 【大河内記念技術賞】▽世界初有機ELテレビの開発と量産化(占...

【市村産業賞・功績賞】▽「SUS304代替Ni、Moフリー21%クロムステンレス鋼の開発」(JFEスチール)▽「最先端LSI製造用ArFレジスト材料の開発」(NEC&#...

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