INDUSTRIAL TRENDS AD

[ 化学・金属・繊維 ]

富士フイルム、フォトレジスト拡充-生産能力50%増強、半導体微細化追い風

(2017/6/16 05:00)

富士フイルムは最先端の半導体生産に使われるフォトレジストの生産能力を現状比50%増強する。富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズの静岡工場(静岡県吉田町)に、フッ化アルゴン(ArF)用レジストの調合タンクやフィルターを含む充填設備を新設する。2017年度末をめどに稼働し、需要に合わせて生産量を増やしていく。投資額は約10億円。半導体で続く微細化要求を追い風に、アジア・欧米市場を深耕する。

フォトレジストはシリコンウエハーに回路パターンを焼き付ける感光性樹脂。富士フイルムが増産するArF用は、微細化で主流のマルチパターニング(複数回露光)で使う。フォトレジストの塗布や露光、エッチングといった工程を繰り返すことで素子や配線を集積するため、高機能・低コスト化が進む最先端半導体の需要増に合わせた伸びを見込めると判断した。

ArF用フォトレジストの調合タンクなど新設備は静岡工場の既存建屋に...

(残り:315文字/本文:715文字)

(2017/6/16 05:00)

※このニュースの記事本文は、会員登録(無料・有料)することでご覧いただけます。

PR

化学・金属・繊維のニュース一覧

おすすめコンテンツ

よくわかるSOLIDWORKS演習
-モデリングマスター編-<改訂第2版>

よくわかるSOLIDWORKS演習 -モデリングマスター編-<改訂第2版>

きちんと学ぶレベルアップ機械製図
-ベテラン設計者が教える基本から実践まで-

きちんと学ぶレベルアップ機械製図 -ベテラン設計者が教える基本から実践まで-

今日からモノ知りシリーズ 
トコトンやさしいバルブの本

今日からモノ知りシリーズ トコトンやさしいバルブの本

実践 エンジニアリング・チェーン・マネジメント
-IoTで設計開発革新-

実践 エンジニアリング・チェーン・マネジメント -IoTで設計開発革新-

人間とロボットの法則

人間とロボットの法則

ディープラーニングがロボットを変える

ディープラーニングがロボットを変える

カレンダーから探す

閲覧ランキング
  • 今日
  • 今週

↓もっと見る

ソーシャルメディア

電子版からのお知らせ

日刊工業新聞社トピックス

セミナースケジュール

イベントスケジュール

もっと見る

PR

おすすめの本・雑誌・DVD

↓もっと見る

ニュースイッチ

専門紙・海外ニュースヘッドライン

専門紙

↓もっと見る

海外ニュース

↓もっと見る

大規模自然災害時の臨時ID発行はこちら

日刊工業新聞社関連サイト・サービス

マイクリップ機能は会員限定サービスです。

有料購読会員は最大300件、無料登録会員は最大30件の記事を保存することができます。

会員登録/ログイン