真空展、78社・団体が出展 最新製品・技術アピール

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  芝浦メカトロニクスのブースに集まった来場者

国内唯一の真空技術に関する専門展「ＶＡＣＵＵＭ２０１７　真空展」（日本真空工業会、日本真空学会主催、日刊工業新聞社共催）が６日、横浜市西区のパシフィコ横浜で開幕した。半導体、薄型ディスプレーなどの分野に７８社・団体が出展。幅広い産業分野に活用できる最新の製品や技術を一堂に集めている。

椿本興業は、塵などの微粒子の数を正確に計測できるカトウ光研（神奈川県伊勢原市）製微粒子可視化システム「パーティクルビューワー」を展示。真空チャンバー内に付着した異物も確認できる。五十畑貴英椿本興業東日本推進課課長は「微粒子の挙動や軌跡も把握できる」と語った。

アルバックはドライ真空ポンプ「ＬＳシリーズ」を出品した。２０１８年１月に発売する予定。スクリュータイプのドライポンプで特許を申請した。高速排気と低消費電力を両立。到達圧力時の消費電力は０・６キロワット以下と、業界トップクラスの低消費電力を実現。電子部品などの製造装置向けに売り込む。

芝浦メカトロニクスは高速枚葉式スパッタリング装置「ＢＭシリーズ」を紹介。自動車分野に焦点を当てた出展内容とした。衝突防止用のミリ波レーダーの電波を透過できるエンブレム成膜例をパネル展示したほか、部品を展示。下畝雄一郎真空応用装置担当部長は「自動車業界はドライ化の流れがある」と指摘。自社の強みを生かして拡販を目指す。

大阪真空機器製作所（大阪市中央区）は、「小型ターボ分子ポンプ搭載排気ユニット」を参考出品した。中国で発売している。可搬式の架台に真空機器を集約してコンパクト化した。山田昭文執行役員は「オプションで付属品を増やしたい」と話す。先行販売する中国で一定のシェアを確立したい考えだ。

エドワーズ（千葉県八千代市）はコントロールユニット一体型小型ターボ分子ポンプを出展した。優れた低振動性能を持ち、回転周波数の振動ピークを従来モデルの３５％低減。供給電源を汎用性の高い直流（ＤＣ）２４ボルトとした。木村一郎科学・分析営業本部長は「低振動のため分析装置や計測装置用に適している」と語った。

会期は８日まで。同時開催の「難加工技術展２０１７」「表面改質展２０１７」と合わせて、２万人の来場者を見込む。