完全ＣＮＴ製放熱シート、富士通研が開発 高耐熱・熱伝導性実現

富士通研究所（川崎市中原区、佐々木繁社長、０４４・７５４・２６１３）は、耐熱性と熱伝導性が高い１００％カーボンナノチューブ（ＣＮＴ）製の放熱シートを開発した。シート中でＣＮＴが緻（ち）密に垂直に並んだ構造をとる。熱伝導率は８０ワット当たり１メートルケルビンで、金属のインジウムシートの約３倍。７００度Ｃ以上の高温に耐えられる。利用温度の高い車載半導体や次世代演算素子などの放熱に提案。２０２０年度以降の実用化を目指す。

直径２００ミリメートルの基板上に多層ＣＮＴを均質に成長させた。これを無酸素環境下で２０００度Ｃに加熱して圧力をかけると、ＣＮＴが密集配向したシートを成形できる。ピンセットでつまんでも崩れず、シートとしても扱える。

さらに２０００度Ｃの加熱でＣＮＴの構造の欠陥部分が修復される。ＣＮＴは欠陥から酸素と反応して燃え始めるため、欠陥修復で耐熱性が７００度Ｃに向上した。

ＣＮＴの密...