[ 化学・金属・繊維 ]

田中貴金属、薄膜形成用の金蒸着材で5N超の純度実現

(2018/1/11 05:00)

  • サンプル提供を始めた高品質金蒸着材「SJeva」(粒状)

田中貴金属工業(東京都千代田区、田苗明社長、03・6311・5511)は10日、薄膜形成用の金の蒸着材で、金含有率を同社従来品の99・999%(5N)よりもさらに高めた新製品「SJeva(エスジェバ)」のサンプル提供を始めたと発表した。酸化物や硫化物などの含有が少ないため、蒸着材の溶解時に不純物を除去する工程を省けるなどコスト削減につなげられる。半導体や医療機器分野での用途を見込む。

新製品は金含有率99・9999%(6N)の水準には達していないが、製造工程の改善により、従来品の5N以上の純度を実現した。

サンプル品の出荷先の評価を踏まえ、量産化を検討する。

蒸着材をより高純度にすることで、成膜前の予熱時間を短くでき、材料のロスを抑えられる。ガス成分の含有量も従来品と比べて少ないため、蒸着時に材料が飛び散るスプラッシュ現象を抑制でき、膜の欠陥発生を減らせる。

(2018/1/11 05:00)

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