[ 科学技術・大学 ]

シリコンウエハーの厚み、光で高精度計測 産総研

(2018/9/5 05:00)

産業技術総合研究所ナノスケール標準研究グループの平井亜紀子研究グループ長と長さ標準研究グループの尾藤洋一研究グループ長らは、シリコンウエハーの厚みを高精度に計測...

(残り:346文字/本文:426文字)

(2018/9/5 05:00)

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