[ 科学技術・大学 ]

福田結晶技研、複合酸化物で欠陥ない径50ミリ単結晶を開発

(2019/8/5 05:00)

【仙台】福田結晶技術研究所(仙台市青葉区、福田承生社長、022・303・0170)は、窒化ガリウムなどの基板に用いる新規の複合酸化物で、結晶欠陥(転位)が存在しない直径50ミリメートルの無転位単結晶を開発した。切り出したウエハーのX線トポグラフィー(XRT)評価では、ほぼ全面無転...

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(2019/8/5 05:00)

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