機械設計２月号／真空技術の基礎とシステム設計のポイント

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日刊工業新聞社が８日に発売する「機械設計」２月号は「真空技術の基礎とシステム設計・トラブル対策のポイント」を特集する。全７章構成で、全章を高エネルギー加速器研究機構応用超伝導加速器センターの加藤茂樹フェローが執筆した。

真空システムでは真空中や真空排気後の導入気体中において、所望の作業を安全に実行できるように、高品質な環境空間を迅速かつ安定的に提供しなければならない。

加藤氏は「真空を使ったモノづくりやモノの観察における本丸は、その空間ではなく、真空表面にある」と指摘する。真空システムで真空に面しているさまざまな固体表面から不純物をしっかり減らした上で、基板・試料などの表面に対して、作業粒子である気体分子・イオン・電子・プラズマ粒子をどう作用させるかで、つくったモノの出来不出来や観察の良しあしが決まる。

特集では、より良い真空表面をどうやって実現するか、より速くより良質の真空にするにはどうすべきか、どうすればトラブルを避けられるか、真空技術の基礎も含め、現場目線で秘策を紹介する。