２０１６真空展・紙上プレビュー（下）島津製作所ほか

【島津製作所／ポンプ本体に電源を一体化】

島津製作所は、ガラスコーティングや一般産業用の磁気軸受型とボールベアリング型のターボ分子ポンプを出展する。「ＴＭＰ―Ｘ１６０５」はポンプ本体に電源を一体化し、省スペース・低コストを実現した磁気軸受型。「ＴＭＰ―Ｂ３００」は、一般産業用の小型ポンプで業界最高レベルの高背圧と高い水素圧縮比が特徴だ。

【新明和工業／薬液なしで除膜・再生】

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新明和工業は超硬製品の除膜や再生を可能にするイオンエッチング装置（写真）を出展する。従来の薬液による除膜は再利用が困難であったが、同社では薬液を使用せず、ダメージを最小限に抑えている。ＰＶＤ、ＣＶＤにかかわらず除膜が可能で、超硬工具や金型のコーティング除膜のほか、バリ取りやエッジ処理にも有効だ。

【佐藤真空／真空ポンプや周辺機器展示】

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佐藤真空（埼玉県三芳町、０４９・２５８・１１１６）は真空ポンプや真空乾燥装置、周辺機器を紹介する。直結型真空ポンプ（写真）の小型から中型までをフルラインアップで紹介するほか、新型ベルト駆動型真空ポンプ「Ｌｏｂｓ１５０」や真空乾燥装置「ＤＮ―３０Ｓ」を展示する。

【東京電子／高品質成膜を実現する電源】

東京電子（東京都板橋区、０３・３９６９・４１５６）は、注目を集めている成膜技術「ＨｉＰＩＭＳ」用電源として高プラズマ密度化、バイポーラ電源として高プラズマ電位化を実現。高品質のＤＬＣ成膜を可能にした。正出力のＤＣ電源、負出力のバイアス電源によって、バイポーラとしての動作が可能。評価用デモ機の貸し出しも行う。

【コフロック／高速応答でゼロ点安定性】

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コフロック（京都府京田辺市、０７７４・６２・４４１１）が出展する高性能小型デジタルマスフローコントローラー「ＥＸ―２５０Ｓ」（写真）は、小型・ローコストでありながら、高速応答で優れたゼロ点安定性を実現する。多様な入出力信号に対応し、ロータリースイッチの切り替えで本体に登録されているガス種が使用可能。