[ 化学・金属・繊維 ]

活況!半導体材料/キーパーソンに聞く(7)JSR上席執行役員・杉本健氏

(2017/10/18 05:00)

【JSR上席執行役員電子材料事業部長】

―極端紫外線(EUV)リソグラフィーを視野に、材料の新会社を立ち上げました。

「ベルギーの研究機関IMECと設立した工場でEUV用フォトレジストの量産を始めた。まだ量は少ないが、仮に2倍以上の需要規模に育ったとしても問題なく供給できる体...

(残り:946文字/本文:1,086文字)

(2017/10/18 05:00)

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