KLAがチップの歩留まりと信頼性を向上させる自動車向けの新たな製品ポートフォリオを発表

新たな検査システムと革新的なインラインスクリーニングソリューションが工場の品質向上を支援

米カリフォルニア州ミルピタス、2021年6月22日 - 本日、KLA Corporation (NASDAQ: KLAC) は、8935高生産性パターンウェーハ検査装置、C205ブロードバンドプラズマパターンウェーハ検査装置、Surfscan(R) SP A2/A3パターン無しウェーハ検査装置、I-PAT(R)インラインPATスクリーニングソリューションの４つの新製品を発表しました。現在、自動車業界の取り組みは、電動化、コネクティビティ、高度ドライバーアシスト、自動運転のイノベーションに注力しています。これは、今後自動車がさらに多くの電子機器を必要とし、半導体チップの需要が高まります。車両の動作と安全性の中核となるチップは、その信頼性は極めて重要であり、自動車用チップは厳格な品質基準を満たす必要があります。



「今日の自動車には、周囲の環境を感知し、運転を判断し、動作を制御する何千もの半導体チップが搭載されています」とKLAのセミコンダクター・プロセスコントロール・ビジネスユニットのプレジデントであるAhmad Khanは述べています。「これらのチップに故障は許されません。この事実により、半導体メーカーはチップが車両に込みこまれる前段階、つまり半導体工場内で信頼性に関わる欠陥を発見し軽減するために新たな戦略を追求しています。自動車用チップの製造工場向けに開発された製品は、信頼性に影響を与える可能性のある原因になる欠陥を検出するとともに、インラインスクリーニングのための革新的ソリューションを提供します。これらにより製造工場は高い歩留まりで高品質かつ信頼性の高いチップを生産し、生産量を最大化することができます」。

新しい3つの検査装置は、自動車産業におけるデザインノードチップ製造での原因となる欠陥検出、モニタリング、欠陥制御のソリューションを提供します。Surfscan SP A2/A3パターン無しウェーハ検査装置は、DUV光学系と高度アルゴリズムを組込み、自動車関連チップの信頼性の問題を引き起こす可能性があるプロセスの欠陥を発見・除去し、プロセス装置が最高の性能で稼働できるために必要な感度とスループットを実現しています。研究開発と生産ラインの立ち上げには、ブロードバンド照明とNanoPoint™技術を採用したC205パターンウェーハ検査装置が、重要な欠陥を高感度で検出し、新しいプロセスやデバイスの迅速な最適化を支援します。量産時には、新しい光学技術とDefectWise(R) AIソリューションを採用した8935パターンウェーハ検査装置が、チップの最終的な品質に影響を及ぼす可能性のあるプロセスエクスカーションを高速かつ正確にコントロールするために、低い疑似率で様々な重要欠陥を捕捉します。

I-PATは革新的なインラインスクリーニングソリューションであり、KLAの検査装置およびデータ解析装置上で動作します。I-PATは、最初に重要なプロセスステップにて、8935を含む8シリーズやPuma™レーザースキャニング検査機により収集したデータから欠陥の特徴を抽出します。I-PATはその後、SPOT™生産プラットフォームのカスタマイズされた機械学習アルゴリズムとKlarity(R)欠陥管理システムの統計分析機能を活用して、母集団から外れている欠陥識別し、欠陥の可能性があるチップをサプライチェーンから排除します。

自動車用チップの製造に特化した新製品の開発に加え、KLAは自動車業界と密接に協働しています。KLAは、自動車産業における電子部品の認定基準を策定する団体であるAEC（Automotive Electronics Council：http://www.aecouncil.com/）への加盟や、ミシガン州アナーバーにある第2本社の設立（https://www.kla.com/michigan）など、自動車業界が厳格な電子部品品質基準を満たすことができるよう支援しています。

「本日発表された新製品は、検査装置、計測装置、データ分析装置、プロセス装置といった当社の包括的なポートフォリオに加わり、車載電子部品エコシステムの多様な領域をサポートします」とKLAのエレクトロニクス・パッケージング・コンポーネント（EPC）ビジネスユニットのエグゼクティブ・バイス・プレジデントであるOreste Donzellaは述べています。「これらの製品のそれぞれが、車載電子部品を構成するチップ、コンポーネント、プリント基板、ディスプレイの高い歩留まり、信頼性、性能の確保において需要な役割を果たします」。

主な特徴、用途、自動車産業以外の市場を含め、8935、C205、Surfscan SP A2/A3、I-PATのさらなる詳細については、製品ファクトシート（https://www.kla.com/advance/innovation/new-automotive-solutions-ensure-high-quality-high-reliability-high-yield）をご参照ください。高い性能と生産性を維持するため、これらの新製品はKLAのグローバルサービスネットワーク（https://www.kla.com/services）が支援します。KLAの自動車関連製品についてのより詳しい情報については、KLA Advanceニュースルーム（https://www.kla.com/advance/category/innovation）をご覧ください。

KLAについて：
KLA Corporationは、エレクトロニクス業界全体のイノベーションを可能にする業界最先端の機器およびサービスを開発しています。当社はウェーハ、レチクル、集積回路、パッケージング、プリント回路基板およびフラットパネルディスプレイを製造するための高度なプロセスコントロールおよびプロセス対応ソリューションを提供します。物理学者、エンジニア、データ科学者および問題解決者からなる専門家チームが、世界中の大手顧客と密接に協力しながら世界を前進させるソリューションの設計を行っています。追加情報はhttps://www.kla-tencor.com/ja (KLAC-P)をご参照ください。

将来予想に関する記述について：
本プレスリリースで記述された8935、C205、Surfscan SP A2/A3、I-PATの各システムの予定性能などは、歴史的事実を除き将来の見通しに関する記述であり、1995年米国私的証券訴訟改革法（Private Securities Litigation Reform Act of 1995）のセーフハーバー（Safe Harbor）規定に従ったものです。これらの将来の見通しに関する記述は現時点での情報および予測に基づくもので、新技術の導入の遅れ（コストや性能問題などによる）、他社による競合製品の導入、KLA製品の実装や性能に影響を与える予期せ技術的な課題や制限など様々な要因、また、KLAの2020年6月30日に終了する事業年度のフォーム10-Kによる年次報告書、2021年3月31日に終了する四半期のフォーム10-Qによる四半期報告書、およびKLAが証券取引委員会に提出するその他の提出物に含まれるリスク要因（これらに記載されるリスク要因を含み、これに限定されない）により、実際の業績が前述の見通しから大きくかけ離れる可能性があります。KLAは、これらの将来の見通しに関する記述を更新する義務を負うものではなく、また現在のところ更新する予定もありません。

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情報提供元：PRTIMES
本リリースの掲載元：https://prtimes.jp/main/html/rd/p/000000005.000055358.html