電機・電子部品・情報・通信

2021/5/19 05:00

クラボウ、半導体洗浄中に計測する装置 歩留まり向上

クラボウは半導体ウエハーを1枚ずつ洗浄する枚葉式装置において、ウエハー上の液体成分をリアルタイムで計測できる機器を開発した。近赤外分光技術を応用した。従来難しかった洗浄処理中の計測...

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