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ベルトをなくし、送り軸の駆動機構も簡素化したにより、部品点数を従来機比30%削減した。

例えば加工軸のズレによる工具中心の位置ずれや送り軸の可動誤差を最小化するために金型形状や加工法を見直した。

サーボモーター駆動軸とアルミ製プーリー(滑車部品)の締結に適している。適応軸径は4ミリ―35ミリメートルで22機種。... 半導体製造装置や検査装置などの送り軸用途で高精度の位置決めを...

従来であればY軸制御などの機能に合わせて一から設計する。ところが共用化が前提のため、通常は変更しない取り付ける側の送り軸の構造を変更した。... チャックサイズ8インチと同10インチで、Y軸制御機能付...

送り軸の高速化によるサイクルタイムの短縮を実現し、消費電力量を低減した。

送り軸機構に特殊な精密転がり案内を採用し、駆動にはリニアモーターを搭載。

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