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記事検索結果
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フッ化水素から作られるフッ素化合物は、半導体を製造する工程でのエッチングや洗浄用のほか、次世代電池の電解質や半導体製造装置の樹脂部品などにも使われ、先端分野のデバイスには欠かせない戦略品。
これからも当社が生き残るには技術開発で新しいものを生み出すこと以外に道はないとのメッセージを込めた」 ―エッチングで使う一酸化炭素(CO)など、半導体製造用ガス事業の...
なおこの技術は金属の除染に限らず、洗浄や皮膜除去、エッチングなどの金属表面処理や、次亜塩素酸の酸化力によってオイル、微生物などの有機物の除去にも適用できる可能性をもつ。
フッ素化合物は半導体を製造する工程でのエッチングや洗浄、次世代電池の電解質や極材のバインダーに不可欠な素材。
その結果、計画通りに生産できないなど、半導体成膜・エッチング装置のユーザーにとって大きな課題となっていた。
ただ、従来のエッチング工法は厚い銅回路の形成に長時間を要し、厚さが制限される課題があった。
加速器の高エネルギーイオンビームを樹脂に照射し、エッチング処理すると微細円錐孔が並ぶ表面が形成される。
別手法で薬液を使うエッチングや還元剤による処理は金属表面が変形する場合があるほか、ウェットプロセスのために工程が複雑。
樹脂フィルムをエッチングレスで連続してメッキ処理できる。... メッキ被膜は化学結合で接合するため、エッチングによる物理的な表面粗化処理が不要。
ドライエッチングなどの半導体製造技術の研究発表が中心となる同会合で、チラーに関する論文が紹介されるのは極めて異例だ。 ... ドライエッチング工程で生じる温度変化を即座に検知してチラ...
【川崎】伸和コントロールズ(川崎市麻生区、山本拓司社長)は、半導体エッチング装置向けチラーで、初の自社ブランド品2機種の販促活動を本格化する。
銅箔をエッチングで配線加工するものと比べて、環境負荷抑制が期待できる印刷法による微細配線形成材料などの研究開発も進める。
「エッチング装置で当社は大手の後塵(こうじん)を拝している。ただウエハーのダメージを低く抑えながら微細回路を書き込めるソフトエッチング装置に限ればシェアは大きい。
ダイセルは半導体製造工程で多用されるフッ酸などのエッチング液から基板を保護する液剤を開発した。... シリコン窒化膜上に選択的に保護膜を形成しつつ、シリコン酸化膜のエッチング速度に悪影響を与えない。
半導体製造プロセスのエッチング向けに真空環境を提供する。半導体の微細化に伴い、エッチングの真空環境が重要になっている。
エッチング装置などに使用される流体制御機器メーカーであるCKD、洗浄装置に組み込まれるフッ素樹脂継手(つぎて)の日本ピラー工業、そして化学的機械研磨(CMP)による平坦...
