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当面はフッ化アルゴンエキシマレーザー(ArF)を光源とした液浸方式露光装置の技術改良に経営資源を集中させる。

酸化しやすいチタンはアルゴンガスで空気を遮断するシールド技術がポイントだ。

アルゴンガスで冷却し、不純物混入を抑えて高い清浄度を保つ。

生産能力は液体酸素および窒素で毎時8000立方メートル、液体アルゴンで同190立方メートル。あわせて液体酸素用で1750立方メートル、液体窒素用で1500立方メートル、液体アルゴン用で50立方メートル...

ただ次世代光源である極端紫外線(EUV)の技術はいまだに確立されていないため、フッ化アルゴン(ArF)エキシマレーザー光源を使った液浸露光技術を回路線幅32ナノメートル...

今後の増産の中心は、回路線幅(ハーフピッチ)45ナノメートル(ナノは10億分の1)世代の半導体製造向けを中心とした先端のフッ化アルゴン(ArF)エキシマ...

酸素のほかに窒素ガスを毎時450立方メートル、アルゴンガスが40立方メートル、液化酸素、液化窒素なども生産する。 アルゴンガスは2次精錬時に溶鋼を撹拌するのに使用。窒素は全量、酸素、アルゴンは...

従来機に比べ消費電力とアルゴンガス消費量を40%以上削減。

フォトレジストでは、最先端技術である液浸露光用フッ化アルゴンレジストの売り上げ拡大を見込む。

ニコンが営業攻勢をかけるのはフッ化アルゴンエキシマレーザー(ArF)液浸の露光装置「S620」。

オランダのASMLとのシェアの差が開くなか、ニコンは「フッ化アルゴンエキシマレーザー(ArF)液浸」と呼ばれる露光技術の新型機種「S620」の拡販で盛り返しを狙う。

住宅版エコポイント対象商品にもなっている断熱・遮熱性の高いLow―eガラス(エコガラス)やアルゴンガス入りエコガラスなど高機能ガラスが普及すると、性能表示や品質保証の観点からも「流通段...

従来はシールドガスにアルゴンを使うミグ溶接を行う必要があったところ、アルゴンに二酸化炭素を混ぜてより安価にしたマグ溶接を行った場合でも腐食を防ぐことができる。

神戸製鋼所は、専用のフラックス(融剤)入りワイヤと新開発の溶接電源2台を組み合わせたマグ溶接(シールドガスにアルゴンと二酸化炭素の混合ガスを使う溶接)システムを開発。....

ニコンは17日、都内で露光装置に関する説明会を開き、回路線幅32ナノメートル(ナノは10億分の1)以下の最先端半導体製造ラインに採用されるフッ化アルゴンエキシマレーザー(ArF...

同社はヘリウムや液体アルゴン、液化炭酸など各種ガスを販売。

東京大学大学院、日本原子力研究開発機構、九州大学大学院、千葉工業大学の研究チームは11日、自然界に安定して存在する「アルゴン40」の高いエネルギー状態を観測し、超変形状態が現れるのを世界で初めて発見し...

ニコンは回路線幅32ナノメートル(ナノは10億分の1)以下の最先端半導体製造ラインに採用されるフッ化アルゴンエキシマレーザー(ArF)液浸露光装置の最新機種「NSR―S...

アルゴンガス環境下で行うことで、材料の酸化を抑えて厚い微粒子層を施す。... 同装置を使い900度Cに鉄を熱しつつ、アルゴンガス雰囲気下でクロム微粒子を秒速100―160メートルで最大100秒間投射し...

JSRは22日、次世代半導体製造プロセスであるダブルパターニング向けに、トップコート不要の自己架橋型フッ化アルゴン(ArF)フォトレジストを開発したと発表した。

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