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東レエンジ、横浜拠点増床 ソフト開発・製品設計拡充 (2024/7/31 機械・ロボット・航空機1)

同拠点では、電子式半導体ウエハーパターン検査装置や工場自動化(FA)設備の設計、一部ソフト製品の開発などを手がけている。

一方、TCKはウエハーパターンの寸法計測に使うミニマルファブ用電子顕微鏡の製品化を進めているほか、半導体製造装置の設計・開発を手がける。

東レエンジニアリングでは現在、電子顕微鏡を用いた電子線式半導体ウエハーパターン検査装置「NGR」を製品化し、研究開発段階でフォトマスクの調整などに採用されている。

東レエンジニアリング(東京都中央区、岩出卓社長)は3日、電子線式半導体ウエハーパターン検査装置の新製品を4月に発売すると発表した。

ウエハーパターンの検査方法は、同じ形状のパターン同士を比べて欠陥を検出する「ダイ・ツー・ダイ」方式が一般的。

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