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シリコンウエハーを作る浮遊帯域溶融(FZ)法の自動化に取り組んだ。FZ法は多結晶シリコンを吊り下げて加熱し、単結晶を作る。... FZ法は熟練者の経験に依存してきた。
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シリコンウエハーを作る浮遊帯域溶融(FZ)法の自動化に取り組んだ。FZ法は多結晶シリコンを吊り下げて加熱し、単結晶を作る。... FZ法は熟練者の経験に依存してきた。
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