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独自のコンフォーカル(共焦点)光学系により、穴径2マイクロ(マイクロは100万分の1)×深さ40マイクロメートルなど高アスペクト比ビアの測定を可能にした。
独自のコンフォーカル(共焦点)光学系により、穴径2マイクロ(マイクロは100万分の1)×深さ40マイクロメートルといった高アスペクト比ビアの測定を可能にした。
【横浜】レーザーテックは追従式自動焦点(AF)の連続走査により、3インチウエハーを15分で全面検査できるコンフォーカル顕微鏡自動検査/レビュー装...
明視野によるコンフォーカル光学系を用いてGaNウエハーの各種欠陥を高速で検出し、高解像度で欠陥を観察できる。
【レーザーテック/電気化学反応可視化コンフォーカルシステム ECCS B310】 独自技術の「リアルカラーコンフォーカル光学系技術」を基に開発した。
EUV露光に影響を与える異物を特定するためのコンフォーカル(共焦点)光学系による異物の高さ測定機能のほか、異物を除去する異物除去機能などがある。
明るい視野を実現するコンフォーカル(共焦点)光学系や独自開発の欠陥検出アルゴリズムを用い、微細な結晶欠陥や浅いスクラッチに対して高い検出能力を実現した。... 焦点を結ぶ光以外を遮断し...
▽連絡先=事務局(011・590・1380) 【山形大学】 山形大学大学院理工学研究科は、機能高分子工学分野の佐野正人研究室が取り組むカーボンナノチューブ...
ニコンは大型半導体基板などの3次元評価用に、コンピューター数値制御(CNC)画像測定システム「コンフォーカルNEXIV VMZ―K6555=写真」の受注を始めた。...
ナノフォトン(大阪市北区、大出孝博社長、06・6878・9911)は、レーザーラマン顕微鏡に反射コンフォーカル(共焦点)画像観察機能を付加した「RAMANplus」を開...