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窒化シリコン薄膜、光で半導体放熱 東大、第4の機構に道 （2020/10/1 科学技術・大学）
東京大学生産技術研究所のユンフイ・ウー特任研究員と野村政宏准教授らは、光で窒化シリコン薄膜の熱伝導率を倍増させることに成功した。... シリコン集積回路などに使われる窒化シリコン薄膜の熱伝導率を室温か...
筑波大、次世代メモリーの動作原理を解明 （2010/1/14）
メモリーにデータを書き込み・消去する際、窒化シリコン薄膜中の欠陥がどのように振る舞うかを、量子力学に基づく理論計算(第一原理計算)で詳細に明らかにした。 その結果、窒化シリコン...
日本電子、新型走査電子顕微鏡の拡販へ社長直轄で戦略組織 （2008/12/17）
溶液中の試料を観察するために開発した特殊な皿「薄膜ディッシュ」は消耗品として、本体販売後の収益源になる。また同ディッシュの、厚さ100ナノメートルの窒化シリコン薄膜窓を薄くすると分解能が高まる。
