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記事検索結果
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特にパワー半導体向けは需要が強く、自動車の生産回復や電動化を背景に需要が伸びている車載用のほか、太陽光パネルや蓄電池といった再生可能エネルギー分野向けなどで使用されている。 ...
「構造改革後、特定の顧客に対してフッ化アルゴン(ArF)液浸を売ってきたが、現在は新しい顧客にも売り込んでいこうとしている。... 「線幅の微細化という横方向の開発は今後も進んでいくが...
ただ、半導体はEUVだけではできず、フッ化アルゴン(ArF)液浸、ArFドライ、フッ化クリプトン(KrF)、i線まで含めた装置が必要になり、引き続きそれらの装置の改善も...
需要が増加するArF(フッ化アルゴン)レジストやEUV(極端紫外線)レジスト向けの新規材料の研究開発を推進し、高品質化の要望に対応する。
中古装置を中心に、光源にi線、フッ化クリプトン(KrF)を用いた非先端の装置が伸びる。... 特に、光源にフッ化アルゴン(ArF)ドライ、ArF液浸を使用した先端分野の...
フッ化アルゴン(ArF)に対応した品目を生産し、同品目の生産能力は福井工場の既存分と合わせて2・5倍となる。
ダイセルは半導体の需要拡大や微細化の進展を受け、レジスト用ポリマーの生産・研究開発体制を強化する。... ダイセルのフッ化アルゴン(ArF)レジスト用ポリマー事業は05年頃に立ち上がり...
特殊アクリル酸エステルの一つとしてArF(フッ化アルゴン)レジスト用モノマーを展開し、引き合いは好調。... レジストは半導体の微細化を支えるキーテクノロジーだ。
100%子会社の東友ファインケム益山工場に液浸フッ化アルゴン(ArF)レジストの製造プラントを建設し、2024年度上期に稼働する。
フッ化アルゴン(ArF)液浸露光向けに加え、半導体の微細化に伴って高まることが予想されるEUV露光向けの需要拡大に応える。 ... 新棟ではさらなる微細化を見込み、最...
基板に回路を作る際に塗布する金属の薄膜で微細化に欠かせない材料だ。... 微細化ではフォトレジスト向け光酸発生剤もキーテクノロジーの一つだ。... ArF(フッ化アルゴン)液浸露光向け...
半導体に回路パターンを焼き付ける露光工程向けの感光材「フォトレジスト」は、液浸フッ化アルゴン(ArF)露光などに対応する最先端製品の生産能力を19年度比2・25倍に引き上げる。... ...
中国では西安市と常州市に洗浄用薬品の高純度化を行う工場を持っており、その近隣に建屋を建設し、設備を増設する。... 半導体に回路パターンを焼き付ける露光工程向けの感光材「フォトレジスト」は、液浸フッ化...
【カギは感光材料】 半導体の高性能化に伴い、電子配線回路の微細化が進む。... JSRは液浸フッ化アルゴン(ArF)向けフォトレジストで世界シェアトップ、最先端の極端...
AGCがEUV用から新規参入したのは、EUV以前のフッ化アルゴン光源露光などとは段違いの性能や品質が求められるからだ。... これに対し、AGCはマスクブランクスのさらなる低欠点化や膜の高性能化で対応...
半導体回路の微細化に欠かせない「極端紫外線(EUV)露光」への期待感が高まっている。... これまでフッ化アルゴン(ArF)液浸など旧来型の露光向けでは使用されているも...
石油化学系事業については事業構造改革を進める方針で、特にエラストマー事業に関してエリック・ジョンソン最高経営責任者(CEO)は「迅速な対応が必要だ」とし、「生産能力の最適化などを進めて...
同設備では、液浸フッ化アルゴン(ArF)や極端紫外線(EUV)プロセス向けレジストを生産する。
