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ギガフォトン、安定発光を達成（2015/12/23 機械・ロボット・航空機）

ギガフォトン(栃木県小山市、0285・28・8410)は開発中の極端紫外(EUV)スキャナー用レーザー生成プラズマ(LPP)光源で、出力108ワットの安...

ギガフォトン、24時間連続稼働を達成（2015/10/6）

ギガフォトン(栃木県小山市、0285・28・8410)は開発中の極端紫外(EUV)スキャナー用レーザー生成プラズマ(LPP)光源で、平均60ワットの24...

半導体露光用エキシマレーザー大手のギガフォトン(栃木県小山市、都丸仁社長、0285・28・8410)は、開発中の極端紫外(EUV)スキャナー用レーザー生成プラズマ...

ギガフォトン、ArFエキシマレーザーの最新モデルを月内出荷（2015/2/23）

半導体露光用エキシマレーザー大手のギガフォトン(栃木県小山市、都丸仁社長、0285・28・8410)は、ArF(フッ化アルゴン)エキシマレーザーの最新モデル「GT64A...

コアテクノロジー・光ビーム活用/EUVによる次世代半導体技術（2014/12/22）

【世界シェア50%】コマツの100%子会社であるギガフォトン(栃木県小山市、都丸仁社長、0285・28・8410)は、半導体製造用の露光装置光源の研...

ギガフォトン、ガス消費量削減技術を無償提供（2014/11/27）

半導体露光用エキシマレーザー大手のギガフォトン(栃木県小山市)は、同社のArF液浸レーザー「GTシリーズ」向けのガス消費量削減技術「eTGM」を期限付きで無償提供する。 ...

ジョンソン・エンド・ジョンソン(日本法人)やギガフォトン(栃木県小山市)など6社・部門が動いている。

コマツ、ギガフォトンを完全子会社化（2011/4/26）

コマツは25日、ウシオ電機と折半出資していた半導体露光用光源メーカーのギガフォトン(栃木県小山市)について、5月中旬をめどに完全子会社化すると発表した。... ギガフォトンは、半導体装...

レーザー学会、第1回レーザー学会産業賞の表彰式を開催（2009/4/23）

【優秀賞】▽リソグラフィー用ArFレーザー=ギガフォトン(装置・システム部門)▽10Gbit光通信用半導体レーザー=日立製作所(コンポーネント・デバイス部門&#...