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慶大、CNT使い高速変調が可能な発光素子開発（2014/6/2）

CNT薄膜を化学気相成長法でシリコンチップ上に成長させ、その薄膜に電極を形成して作製した。

京都大学エネルギー理工学研究所の坂口浩司教授と中江隆博助教らの研究グループは8日、1ナノメートル(ナノは10億分の1)以下の幅を持つ極細ナノ炭素細線であるグラフェンナノリボン(...

日本ゼオン、単層CNT量産−コスト1000分の1 （2013/12/2）

産業技術総合研究所の畠賢治首席研究員らが04年に開発した「スーパーグロース法」を利用し、同研究所や新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)と共同で、純度が99%以上の単層...

サムコ、GaN系パワー半導体向け薄膜装置に参入（2012/11/26）

【京都】サムコは窒化ガリウム(GaN)を材料とするパワー半導体用ウエハー向け薄膜成長装置に参入する。マルチチャンバータイプのMOCVD(有機金属化学気相成長法)装置を投...

高純度化学研、300mm径PVD向けスパッタリングターゲットを供給（2012/3/14）

【川越】高純度化学研究所(埼玉県坂戸市、宝地戸道雄社長、049・284・1511)は年内をめどに、物理気相成長法(PVD)向けに、付着させる薄膜成分を含んだ300ミリメ...

開発したルテニウム材料は、回路線幅20ナノメートル(ナノは10億分の1)以降の次世代DRAMに使われる、MOCVD(有機金属化学気相成長法)の成膜材料(プリカー...

アルバック、3次元構造デバイス向け成膜装置（2011/12/2）

化学気相成長法(CVD)により、シリコン、ニッケル(Ni)かコバルト(Co)の化合物を成膜できる。... 成膜の前処理工程である自然酸化膜の除去を装置内...

深層断面/中国LED照明急成長、展示会は活況−日系企業に商機（2011/6/23）

成長著しい中国のLED照明市場を日系メーカー各社はどのように攻略するのか。... この過程で用いるのがMOCVD(有機金属化学気相成長法)装置。... 日亜化学の福代氏は「品質が良くて...

これにより、高温環境を伴う化学気相成長法の一つであるプラズマCVD法にも適応できるため、形成する回路の品質向上に貢献する。

中川製作所、DLC皮膜の受託加工を開始（2010/3/18）

綿毛や羊毛に入り込んだ土や砂などを取り除く紡績針の耐久性を高めるために、自社でパルス放電によるプラズマCVD(化学気相成長法)被膜装置を開発し、DLC被膜加工を始めた。

モノづくり推進会議/地域活性化リレーシンポジウムin松江(2) （2009/9/28）

これも独自の有機金属化学気相成長法(MOCV法)によって研究が進んだ。

急成長・台湾太陽電池産業(中)底力−蓄積した技術力に自信（2009/6/30）

両側には製造プロセスの心臓部となるプラズマ化学気相成長法(PECVD)装置が3台ずつ合計6台並び、ロボットアームが次々とガラス基板を出し入れする。

海外技術/米ライス大など、材料の電気特性制御（2010/3/4）

米ライス大学、産業技術総合研究所、米ユタ大学などの研究チームは、グラフェンと六方晶系窒化ホウ素(BN)とを組み合わせたハイブリッド型シート材料の製造法を開発した。... それに対し、ラ...