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記事検索結果
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パテンティクスの研究成果を用いることで、大径化しても安価で欠陥の少ない成膜が実現できる見通しという。
フィルムなど、熱に弱い対象物への成膜を可能にする。東北大学と共同開発した成膜方法を用いることで、ミストを使う同様の成膜方法「CVD法」と比べ、高温の熱を加える必要がない。立体にも成膜できるほか、異なる...
特に洗浄・成膜・エッチングといった半導体製造装置向けのヒーターでは高い市場シェアを持ち、今後も成長が見込めるとしている。
数十枚のウエハー上に薄い膜をつくる「バッチ式」の成膜装置や、成膜後に膜中の不純物を取り除き膜質を改善させるトリートメント装置で世界トップレベルのシェアを占める。... 当社のバッチ式成膜装置で寄与でき...
固有の粉体加工と加圧成形、成膜技術を活用した完全乾式の独自製法で、外力がなくても電極粒子の界面を維持できることが最大の特徴だ。
成膜方法の一つであるスパッタリングにおいて、薄膜を形成するために用いられるスパッタリングターゲットの最大手であるJX金属。... 膜の品質を上げたい場合は主に装置メーカーに品質向上が求められることが多...
【名古屋】中部大学の多賀康訓特定教授は13日、シンクロン(横浜市西区、成田正哉社長)と共同で光学特性を満たしつつ曲げ、延伸など変形に耐える可変反射防止膜の成膜技術を開発したと発表した。...
半導体の高性能化に伴って成膜やエッチング工程で使われる材料も変わり、種類も多岐にわたる。
洗浄装置でも生産性や加工性が高く、使用する水の量などを少なくして環境への影響を低減した装置を開発する」 「ウエハーを1枚ずつ処理する枚葉式の成膜装置も増やしたい。
【熊本】ナカヤマ精密(大阪市淀川区、中山慎一社長)は、金型部品の耐久性を高めるため、テクニカルセンター(熊本県菊陽町)にダイヤモンドライクカーボン(DLC...
日立造船はスマートフォンやパソコンの保護フィルムに、反射防止や水滴などの防汚の機能を付与する一体型成膜装置を展示した。
東北大学の柿沼洋助教らは、金属にポリアニリンを成膜して水素の拡散経路を可視化する観察技術を開発した。... 純ニッケル箔にポリアニリンを成膜して光学顕微鏡で観察する。
大電力パルス電源で高密度プラズマを発生させて成膜する大電力マグネトロンスパッタリング(HiPIMS)方式を採用して実現。... 低温成膜可能な特徴を生かして、樹脂やフィルムに成膜する需...
【Bax/廃プラ・バイオ樹脂向け小型機】 Bax(大阪府松原市)は、2軸混練コンパウンド(写真)やTダイフィルム製膜のサ...
850平方メートル超のクリーンルームを整備し、各種分析設備や成膜評価設備などを導入。... 成膜工程に用いるALD(原子層堆積)材料や成膜助剤、後工程向けのプロセス材料など半導体関連材...
これまではシリコンウエハーに下地膜を成膜し、その上からAlNを成膜したが、これらが不要になり、大幅なコストダウンが可能になる。... ステンレス基板上に成膜したAlNをX線回折プロファイルで測定したと...
