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インタビュー/荏原取締役執行役専務・辻村学氏「進む微細化、需要増に対応」（2016/4/12 機械・ロボット・航空機２）

約68億円を投じて熊本事業所(熊本県南関町)に、半導体向けCMP(化学的機械研磨)装置などの生産棟を新設する。... 「CMP装置やメッキ装置は、需要の山谷が激しく生産...

ワーク表面を平滑にする化学的機械研磨(CMP)装置も導入する。

三菱ケミカルHD、米CMPセンターに参加−半導体向け洗浄剤開発（2015/4/22）

CMP後に使う洗浄剤の市場規模は約150億円。... CMP関連では今年に入り、JSRが配線層の平たんを維持しつつ傷も付けにくくしたことで歩留まりを高められるCMPパッドを販売した。荏原も従来機に比べ...

荏原、機械搬送能力2倍に向上した化学機械研磨装置を投入（2014/12/4）

荏原は3日、機械搬送能力を同社従来機に比べ、約2倍に高めた化学機械研磨(CMP)装置「F―REX300X=写真」を市場投入した。... CMP装置は半導体チップの銅線などをナノ...

新役員/荏原−執行役員・戸川哲二氏ほか（2014/5/16）

【執行役員精密・電子事業カンパニー新事業推進統括部長】戸川哲二(とがわ・てつじ)氏【横顔】半導体製造装置の開発を担当し、化学的機械研磨(CMP)装置...

伝承の力・工場長に聞く/荏原精密・藤沢工場長・新村恵弘氏（2014/1/15）

精密・電子事業の代表製品であるドライ真空ポンプ、化学的機械研磨(CMP)装置は、生産量が半導体業界の需要動向に大きく左右される。... CMP装置は数万点ある部品をクリーンルーム内でユ...

荏原、精密・電子が回復基調−非半導体の開拓カギ（2011/6/10）

(土井俊) 精密・電子事業はドライ真空ポンプのほか、半導体製造向けウエハー用化学機械研磨(CMP)装置、メッキ装置などを手がけている。... 精密・電...

東京精密、半導体製造装置で第5工場（2010/11/11）

半導体製造装置生産の第5工場を東京都八王子市に建設し、12年3月期中に稼働させる計画。大型研削盤などを導入し、半導体ウエハーチップの厚さを薄くする「ポリッシュ・グラインダ」やウエハー表面の凹凸を削って...

荏原、10月1日に荏原九州を吸収合併（2010/7/13）

同子会社は化学機械研磨(CMP)装置の製造などを手がけている。神奈川県藤沢市内のCMP開発拠点と業務が重複することから、グループ経営の効率化を目的に吸収することにした。顧客ニーズが多様...

荏原、CMP装置事業を強化−技能教育も拡充（2010/6/8）

荏原は化学機械研磨(CMP)装置事業を強化する。... CMP装置を生産する藤沢事業所(神奈川県藤沢市)での技能教育も拡充し、生産性の向上を図る。... CMP装置は台...

需要が低迷する半導体製造装置用部品の売り上げ依存から脱却。... 需要が低迷した主力である半導体ウエハーの化学機械研磨(CMP)装置用部品などの売り上げ構成比が9割から6割と落ち込んだ...

最新の切断装置や研磨装置を持つ八王子第三工場(東京都八王子市)で対応する。... 同社はこれまで自社装置が顧客の求める品質や生産性を実現できるか検証するため、テスト加工を行っていた。....

日本精密電子、太陽電池製造装置部品に参入−熊本工場を拡張（2008/6/18）

熊本工場を拡張して太陽電池製造装置部品の加工ができる大型5軸NC旋盤や、それに対応する3次元測定器、微細加工装置などを導入する。まず半導体製造装置関連部品の生産量を9月から10%以上引き上げ、...

そのため強度が弱く、従来のCMP技術を使うと膜がはがれやすくなる。... 開発した手法は、既存のCMP装置に電解研磨専用のパッドを張りつけるだけで使え、用途に応じて従来のCMPと切り替えて利用できる。...