アルバックは半導体製造装置などの内部を真空にするために要する時間を従来機に比べ約20%短縮したドライ真空ポンプ「LSシリーズ=写真」を発売した。... ポンプをつないだ装置の内部を真空...

◇ドライコンプレッサー 四葉機械製作所はローター多段にすることで圧縮比を高めていくルーツ式ドライコンプレッサーおよびルーツ式ドライ真空ポンプが主力製品。回転ローターが多段化しているの...

標準ポンプと半導体製造装置向けドライ真空ポンプの組み立てに、IoT(モノのインターネット)やロボットを導入する。... ドライポンプについては工場内の空き地に、19年後半の完成を視野に...

アルバックはドライ真空ポンプ「LSシリーズ」を出品した。... スクリュータイプのドライポンプで特許を申請した。... 下畝雄一郎真空応用装置担当部長は「自動車業界はドライ化の流れがある」と指摘。

【アルバック/高速排気のドライ真空ポンプ】 アルバックは真空装置、コンポーネント、材料、分析機器など多様な真空技術を幅広い業界向けに提供する。今回はドライ真空ポンプ「LSシ...

【ニッタ/簡単に取り付け真空ポンプ保護】 ニッタはケミカルフィルターメーカーとして蓄積したノウハウをもとに、真空ポンプを保護する製品を提案する。... 【大阪真空機器製作所...

(3回掲載) 【荏原/空冷方式を採用設置しやすく】 荏原は半導体産業向けの精密製造技術を生かして開...

荏原は半導体製造装置向け水冷式ドライ真空ポンプ「EV―L型=写真」を2017年1月に発売する。

圧縮空気のコンプレッサー機器では国内シェアの約3割を誇るほか、食品のフリーズドライや包装、半導体の製造などにも使用される真空機器(毎分600リットル以下のドライ真空ポンプのシェアは50%...

宇野澤組鐵工所が世界で初めて開発した「ドライ真空ポンプ」の開発を担当し、主力製品にまで押し上げた。... 現在取り組んでいる課題はポンプ製造部門の安定的な黒字化。

半導体向けCMP(化学的機械研磨)装置を増産するため、既存工場と同規模の新工場と、ドライ真空ポンプのサービス工場を新設する。

半導体向けCMP(化学的機械研磨)装置などの生産棟のほか、ドライ真空ポンプのアフターサービスを手がける新棟を整備、現行の熊本工場を拡張する。

アルバックは液晶パネル生産ラインなどで使う、真空装置向けの電離真空計「マルチイオンゲージST2」を10月に発売する。... 価格は12万円から(消費税抜き)で、既存の真空計と同等以下と...

荏原は空冷式ドライ真空ポンプで、現行ラインアップを上回る毎分1670リットルの排気速度を実現した「EV―SA20型=写真」など2機種を発売した。電源のみで利用できるなど空冷式の長所である利便性...

荏原は主力のポンプなどの風水力事業のほか、ゴミ処理場のエンジニアリング事業、半導体製造装置の精密・電子事業を展開する。精密・電子事業の代表製品であるドライ真空ポンプ、化学的機械研磨(CMP&#...

(総合1参照) アルバックは従来機種と同等の排気速度を維持しながら、体積を約半分にしたドライ真空ポンプを紹介する。... 展示ブースでは異物混入を防ぐドライ真空ポンプ...

ロールツーロールで太陽電池や有機ELが生産できる真空成膜技術や、半導体製造装置向け真空バルブなども紹介する。 ... 【日本エリコンライボルト/軽質ガス向け真空ポンプ】&#...

□■□■ 【真空ポンプを大幅小型化/荏原】 荏原は小型・空冷式ドライ真空ポンプ「EV―A10型=写真」を出展する。... 【異...

アルバックは軽負荷の小型真空装置向けドライ真空ポンプ「CRシリーズ=写真」の4機種を製品化したと3日発表した。油回転真空ポンプで多用される排気速度が毎分280―5000リットルクラスのドライ化...

荏原は医療や分析、測定器、食品分野向けに小型・空冷式ドライ真空ポンプ「EV―A10型」を発売した。従来の油回転式ポンプと異なり、ポンプ内部のガス通路に油を一切使わないため、真空空間中への油分の含有を防...