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従来、東芝は先端露光装置を蘭ASMLから調達してきたが、新たにキヤノンが加わる。 ... 現在はASML、ニコンに水をあけられているが、量産技術を確立した上で東芝から大量受注し、2―...

【露光装置、蘭ASML先行−技術革新、業界リード狙う】 「半導体向け露光装置事業はかなり強化される」―。... キヤノンは00年初頭まで露光装置で20%程度の世界シェアを持ち...

オランダの半導体製造装置大手であるASMLは台湾TSMCの出資を受け入れる方針だ。... ASMLは先端露光装置で競合するニコンに先行して次世代装置の開発を目指している。... TSMCの出資を合わせ...

インテルが総額41億ドル(約3300億円)を投じてASML株式を最大15%取得。... ASMLは次世代技術の確立に必要となる研究開発投資の負担を軽減できる。... 今回の出資...

オランダのASMLは18日、次世代半導体の回路微細化の製造技術として注目を集めるEUV(極紫外線)を活用した露光量産機の受注台数が11台になったと発表した。

オランダASMLは半導体露光装置のシェア目標を現状比約10ポイント増の70%超に設定した。... ASMLは設計と組み立てのみ。... ASMLとニコン、どちらの選択が勝利に結びつくのか。

オランダのASMLは、光源に極紫外線(EUV)を使う次世代の半導体露光装置を2010年に出荷する。... ダブルパターニングの改良と並行し、EUV露光装置をより良い性能に仕上げることこ...

次世代露光装置をめぐるASML、ニコン、キヤノンの開発競争に影響を及ぼしそうだ。 ... ASML子会社のブライオンテクノロジーズが東芝に供給する。ASMLはこの契約を機に、次世代露光装置の採...

EUV露光装置はニコンとキヤノンも開発を進めているが、ASMLが先行することになりそうだ。 ASMLはEUV光源に米サイマー製のレーザー生成プラズマ(LPP)を採用する。......

オランダのASMLは、09年4月をめどに日本での半導体露光装置の販売を直接販売に切り替える。... 日立ハイテクは09年3月をめどにASML製の半導体露光装置販売を終える。... ASMLは日本以外で...

オランダのASMLは次世代半導体の製造方法として開発を進めてきた「高屈折率溶媒を用いた液浸露光」の研究開発を事実上断念した。チップ上の回路線幅30ナノメートル(ナノは10億分の1)台の...

エルピーダでは8月末までに、ASMLとニコンのArF液浸露光装置の技術評価を終える予定。... エルピーダは当初、ASMLとキヤノンからArF液浸の提供を受けて技術評価を実施していた。だが、ニコンの装...

オランダのASMLはフッ化アルゴン(ArF)エキシマレーザーを光源にした半導体用の液浸露光装置「TWINSCAN XT1950i」を開発した。

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