アルバックは12日、スパッタリングターゲット材料などの販売を手がける完全子会社のアルバックマテリアル(千葉県富里市)を吸収合併すると発表した。... スパッタリング装置とターゲット材料...

X線発生装置となるフィールドエミッション型X線管球は、開発段階から事業化への移行を計画。製造スペースを確保し、真空装置やスパッタリング装置を新設する。従来の熱エミッション型管球では困難な装置の小型化や...

ドイツの販売代理店を経由し、11月中に欧州向けにスパッタリング装置1号機を納入する。... 神戸製鋼所が欧州で販売するPVD高機能硬質膜成膜装置は、独自の成膜技術によるイオンプレーティング装置とスパッ...

アルバックは蒸着装置やスパッタリング装置のデータ解析ソフトウエアを10月に順次投入する。... 自社製品についても化合物半導体向けのクラスター型スパッタリング装置「SMEシリーズ」に対応した診断ソフト...

子会社タイトーケンサーモ(チョンブリ県)の工場に、被膜を形成する大型スパッタリング装置を2台導入した。... タイ工場には処理空間が径900ミリメートル、高さ1200ミリメートルのオラ...

【静岡】富士アールアンドディー(静岡県富士宮市、稲葉明弘社長、0544・58・5631)は、研究開発向けの小型の樹脂フィルム用成膜装置「ロールコーター FRC―100V=...

この微粉は金属や合金、金属化合物などを蒸着やスパッタリングでフィルム上に成膜してはく離し、これを細かく粉砕して作る。... 真空蒸着装置やスパッタリング装置などの既存設備を用いるほか、今後3年間で約5...

すでに高砂コーティングセンター(兵庫県高砂市)に被膜を形成する大型スパッタリング装置を導入。... 神鋼が導入したのは処理空間が径700ミリメートル、高さ800ミリメートルのスパッタリ...

【名古屋】システック(愛知県安城市、辰己敏実社長、0566・92・5611)は、スパッタリング(薄膜形成)の前処理専用機「真空脱ガス装置=写真」を6月をめどに発...

その多賀さんの研究室でスパッタリング装置を拝見した。 記者はスパッタリング装置を見るのは初めて。... スパッタリング装置だけで4000万円もする。

同センターでは05年9月からナノ加工機やドライエッチング装置などの機器を1時間あたり数千―1万数千円で貸し出ししている。... クリーンルームで、露光装置やスパッタリング装置などを使い、基板上にセンサ...

【厚木】昭和真空は水晶部品のベース電極を成膜するスパッタリング装置「SPC―1000W=写真」を10日に発売する。従来装置より小型化。... 装置サイズは幅1220ミリ×奥行き109...

【厚木】昭和真空は光学部品向け反射防止膜(AR)成膜用スパッタリング装置「SPS―208CW」を完成、10日に発売する。... 同社はこれまでAR成膜用に蒸着装置を製造販売しているが、...

「発光素子の場合、大型化は必要ないため従来の装置が使える。一方、大面積をターゲットにする我々は独自の装置が必要だった。既存のスパッタリング装置に比べて成膜速度は25―50倍、すでに量産に対応できる。

スパッタリング装置を用いて、布地の内側にチタンを付着させた。

新製法により真空スパッタリング装置の100分の1以下の費用で透明導電性フィルムなどへの加工が可能。... 低コスト化の要求が高まる一方で、真空装置は設置に10億円程度を要し、維持費用も数億円以上。&#...

また、太陽電池のセル工程などの装置類を一式で提供するエンジニアリング事業も展開する。... この装置を核に、自社の洗浄機や他社から調達するレーザーエッチング装置、スパッタリング装置などを組み合わせる「...

アルバックは液晶ディスプレーのカラーフィルター基板向け縦型インラインスパッタリング装置2機種を発売した。... 新たな着脱システムを用いることで、装置の設置面積を従来比で約30%低減した。&#...