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大阪大学超高圧電子顕微鏡センターと、阪大サイバーメディアセンター、日立ハイテクノロジーズは4日、超高圧電子顕微鏡(加速電圧300万ボルト)用の遠隔自動撮影システムを開発したと発表した。
電子ビームを加速させるための電圧が15キロボルトの場合で、試料を観察できる保証分解能は1ナノメートル(ナノは10億分の1)を実現した。... 画像の倍率は25―100万倍で、加速電圧1...
高性能の電子銃をSEMに搭載し、加速電圧30キロボルトで保証分解能2・5ナノメートル(ナノは10億分の1)を実現した。