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記事検索結果
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今回の支援事例の中小企業は、大手光学ガラスメーカーをスピンアウトした光学の技術屋集団、ARKTECHで商品は紫外線(UV)―発光ダイオード(LED)使用の半導体ウエハー...
JSRは11日、2回露光して微細な回路を描く半導体製造工程用の新材料を開発したと発表した。線幅32ナノメートルに対応した材料で、1回目の露光で形成された回路を固めて、2回目の露光の溶剤に溶けないように...