等方性黒鉛はSiC半導体向けでは単結晶SiCインゴット製造用の炉や成膜時の土台などに使われる。

ウエハー上の必要な場所にだけ非常に薄く成膜する材料で、現在の露光・現像と異なる次世代の回路形成技術に使われる可能性がある。

生産技術センター(香川県観音寺市)でも20億円を投じて、黒鉛表面にSiC膜を被膜してガスや粉末を閉じ込めるコーティング処理炉を24年に稼働。... SiCコーティングでは気相成長...

有機半導体はシリコンなど無機半導体と異なり印刷による半導体成膜が可能で、無機半導体で使う高額な装置が不要となりコストを低減できる。

デポは、プロセスガスの種類によって、工程で使用する真空計のセンサーダイヤフラム上に膜が形成されてしまう現象。... その結果、計画通りに生産できないなど、半導体成膜・エッチング装置のユーザーにとって大...

一方、電気自動車(EV)の軽量化で注目される樹脂への成膜技術の開発も進めており、春先に提案を始める計画だ。 ... 両機能を1層で実現したことで成膜時の工数を削減し、...

CO2吸収用の新規アミン化合物や窒化ガリウム(GaN)成膜用ターゲット材などの新製品が、うまく時流に乗って伸びるかが注目される。

半導体製造の露光、成膜、エッチング、洗浄など各工程に対応する。

ブイ・テクノロジーは自社が扱う検査装置と組み合わせて、成膜工程や洗浄工程などで相互補完できるとみて買収を決めた。

「光学部品に使う結晶の研磨加工から成膜まで一貫生産体制を強みとする、結晶加工分野で国内唯一のメーカー」と自負するのは、光学技研(神奈川県厚木市)社長の岡田幸勝さん。...

新光和(千葉県八街市、石井宏宗社長)は、水晶やダイヤモンドに、毛髪などの遺品から抽出した炭素を用いてダイヤモンドライクカーボン(DLC)を...

溶剤を使わず基板上に成膜できるため、他のポリマー半導体薄膜を溶かさずに済む。

成膜工程向けの四重極形質量分析計「MICROPOLE system QLシリーズ」は、新設計の制御・計測部と四重極センサー部で構成。... 近年はエッチングだけでなく成膜やイオン注入の...

カテコール基が金属と結合しやすいため、電極表面で一方向に並んでカルボキシ基が表面を覆う膜を作る。... 有機半導体の成膜に使う有機溶媒にカフェ酸は溶けないため、有機半導体層を塗布で形成できる。

率先し成膜用途開拓進める (総合1から続く)大学から有機合成化学を学び、お茶の水女子大学大学院人間文化創成科学研究科ではフッ素化合物の研究室で反応...

産業技術総合研究所(産総研)では、高純度、長尺、高比表面積であり、かつ、分散性に優れたスーパーグロースカーボンナノチューブ(SGCNT)を開発し、分散・成膜の技術や、用...

それぞれのポイントを解説するとともに、摩擦係数が低く、アルミなどの加工に向いたDLC膜についても紹介する。 ... PVDとCVDの二つの成膜方式の違い、特に後者ではアークイオンプレ...

日立造船はスマートフォンの保護フィルムやガラスに反射防止や防汚の機能を付与する一体型成膜装置をアピール。

研究開発助成には坂東隆宏豊橋技術科学大学助教の「先進的成膜手法によるSiC層を用いた高耐久性ダイヤモンドコート工具の製作」などを、国際交流助成には「表面、コーティング、界面に関する環太平洋シンポジウム...

アークイオンプレーティング装置は物理気相成長(PVD)の一種で、金属やセラミックス製の工具、金型などに成膜して機能性や生産効率などを向上できる。 AlCrNはアルミ含...