レンズと半導体ウエハーの間に水をはさんで微細化精度を高める液浸装置ではオランダのASMLとつばぜり合いが続く。

露光装置でつばぜり合いを演じてきたASMLとニコン。... ただ、ASMLは圧倒的シェアを握るが故に、市況回復に伴い、受注残をかかえている状況。... ASMLは今秋、試作機の出荷を始めるが、ニコンは...

「3度目の正直」でASMLの牙城を切り崩し、低迷が続く半導体露光装置事業の再成長路線を踏み出せるのか。 ... 6月に会長に退く、苅谷道郎社長は「対ASML」への自信をのぞかせた。&...

また、競合のオランダ・ASMLが力を入れている光源に極紫外線(EUV)を使う次世代露光装置を使わなくても、露光を繰り返すことで線幅11ナノメートルまで対応できる可能性があることを示唆し...

先行するオランダ・ASMLはすでにNA1・35のモデルを出荷済みで、ニコンも新モデル投入で追い上げる。... ASMLも競合製品を5台出荷し、3台販売した。09年の半導体液浸露光装置のシェアはASML...

22日にはオランダ・ASMLから光源に極紫外線(EUV)を使う次世代露光装置をファウンドリーで初めて導入することも明らかになり、10ナノメートル世代のシステムLSIを開発する。 ...

露光装置市場でシェア6割超を握るオランダASMLも対応機種「NXT:1950i」の出荷を始めており、ニコンは新機種で巻き返す。

オランダASMLから購入する。

オランダASMLは半導体露光装置のシェア目標を現状比約10ポイント増の70%超に設定した。... ASMLは設計と組み立てのみ。... ASMLとニコン、どちらの選択が勝利に結びつくのか。

オランダのASMLは、光源に極紫外線(EUV)を使う次世代の半導体露光装置を2010年に出荷する。... ダブルパターニングの改良と並行し、EUV露光装置をより良い性能に仕上げることこ...

競合のオランダASMLは開発資源をEUV露光装置に大きくシフトしており、2010年には量産試作機5台を納入する計画。ニコンとASMLの温度差が鮮明になる。

次世代露光装置をめぐるASML、ニコン、キヤノンの開発競争に影響を及ぼしそうだ。 ... ASML子会社のブライオンテクノロジーズが東芝に供給する。ASMLはこの契約を機に、次世代露光装置の採...

東京エレクトロンは合志事業所(熊本県合志市)に、オランダのASML製ArF(フッ化アルゴンエキシマレーザー)液浸露光装置を今秋導入する。... 子会社の東京エレクトロン...

ニコンとASMLが受注を巡って最後まで競合していたが、ユーロ安を背景に価格競争で優位に立ったASMLが受注を獲得した。... エルピーダは、広島工場にASMLのArF液浸露光装置を1台導入した。......

ASMLは、08年10―12月期の半導体露光装置の受注台数は13台(新品5台、中古8台)となった。

露光装置メーカーのニコンとキヤノンは半導体先端テクノロジーズ(セリート)と、オランダのASMLはベルギーのIMECとそれぞれ共同開発を進めている。

オランダのASMLやキヤノンはNA1・35のArF液浸露光装置を発売済み。

オランダのASMLも量産評価機「NXE 3100」を市場投入する計画を表明している。... ASMLは2010年に量産試作機としてNXE3100を投入する。 ... ニコンとキヤノンは...

EUV露光装置はニコンとキヤノンも開発を進めているが、ASMLが先行することになりそうだ。 ASMLはEUV光源に米サイマー製のレーザー生成プラズマ(LPP)を採用する。......

ASMLはウエハーステージに露光と計測を同時に行う方式を採用。... ニコンとASMLはウエハーステージの計測方法を変える。