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慣性センサーは「MEMS(微小電気機械システム)素子型センサー」を6チップ搭載し、複数チップのセンサー情報を複合する技術により高精度化している。

これら特殊なウエハーは、パワー半導体や各種センサー、微小電気機械システム(MEMS)などに使われ、日本に残った半導体メーカーにとって付加価値を出せる貴重な分野だ。

新棟では、センシング技術の要であるMEMS(微小電気機械システム)センサーの開発を進めます。

サンプルを入れる容器のふたに微小電気機械システム(MEMS)温湿度センサーを付け、複数個を同時に測定できるようにした。

浜松ホト、指先サイズ量子レーザー MEMS設計見直し (2021/8/18 機械・ロボット・航空機1)

電流で動いて波長の異なる光を分別する微小電気機械システム(MEMS)回折格子の設計見直し、小型磁石採用、部品の高精度組み立てなどで小型化した。

小規模研究課題では3次元一体成型によるMEMS半球共振ジャイロスコープの研究(東京計器)、昆虫の偏光知覚を模倣した空の偏光航法に関する研究(川崎重工業)などが選ばれた。

企業研究/ミネベアミツミ(6)コア事業“8本槍”シナジーで太く (2021/8/2 電機・電子部品・情報・通信)

取締役副社長執行役員の岩屋良造も「例えば半導体と関係が深いMEMS(微小電気機械システム)技術で圧力センサーを作る場合、圧力計の部分は機械加工でコストを抑えて作る技術が不可欠」と語る。...

高性能MEMSを多数搭載できれば自動運転の多様な感知能力が向上し、操縦の安全性や機能が一段と進む。... 圧電式MEMSは超小型ミラーでレーザー照射し、車間距離や障害物を感知する素子などを搭載する。薄...

オムロンのMEMS工場買収 ミネベアミツミは、滋賀県野洲市にあるオムロンの半導体・微小電気機械システム(MEMS)工場を買収する。... 買収した工場は現在、MEMS...

財務分析(14)オムロン 深化するROIC経営 (2021/7/8 マネジメント)

19年には約1000億円で日本電産に車載電装部品事業を、直近ではミネベアミツミの子会社にアナログ半導体・微小電気機械システム(MEMS)の工場売却などを発表している。

微小電気機械システム(MEMS)製のマイクを耐圧防水樹脂で封止した。... MEMSマイクを耐圧防水仕様にすることで専用のアンプなどが不要になり、装置が大型にならない。

サカセ化学、低アウトガス治具 微小高精度部品を搬送 (2021/7/6 機械・ロボット・航空機2)

主な用途は高精度のセンサーや、微小電気機械システム(MEMS)の製造工程を想定。

ミネベアミツミはこのほど、滋賀県野洲市の半導体工場と微小電気機械システム(MEMS)の開発機能の買収でオムロンと合意。約30人いるオムロンのMEMS技術者は今後、ミネベアミツミに移る。

ミネベアミツミは30日、オムロンのアナログ半導体・微小電気機械システム(MEMS)の工場などを買収したと発表した。... ミネベアミツミが子会社のミツミ電機を通じ、オムロン野洲事業所&...

差圧センサーは微小電気機械システム(MEMS)技術で作製。

【MEMS向け増】 光通信以外の分野にも厚膜加工は広がっている。微小電気機械システム(MEMS)分野の拡大で、厚膜を施したSOIウエハーの販売が半導体メーカーや半導体...

電気通信大学の菅哲朗准教授らの研究グループは、微小電気機械システム(MEMS)の製造プロセスで量産できる2ミリメートル角サイズの超小型分光器を開発した。... 分光器はMEMSプロセス...

輝け!スタートアップ(72)名誉教授ドットコム (2021/4/22 中小・ベンチャー・中小政策)

現在は電子工学、画像工学、計算材料学、MEMS(微小電気機械システム)環境科学、医工学、結晶成長技術など16人が参画する。

アズビル、神奈川にMEMSセンサー新実験棟 (2021/4/13 機械・ロボット・航空機1)

アズビルは12日、藤沢テクノセンター(神奈川県藤沢市)内に微小電気機械システム(MEMS)センサーの開発などを手がける実験棟2棟を建設すると発表した。... 開発・生産...

住友精密工業は微小電気機械システム(MEMS)式ジャイロセンサーを使った資源掘削向け小口径ジャイロコンパスを開発した。... 開発したのはMEMS式小口径ノースファインダー「GCAH―...

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