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魁半導体、フッ素樹脂でプラズマ処理フロン不要技術確立（2020/4/7 電機・電子部品・情報・通信２）

アルゴンや窒素など取り扱いやすいガスを固体フッ素樹脂に照射して、フッ素を含んだガスを発生させる。

仁科工業、メッキ研究開発で新棟断面分析装置を導入（2020/3/5 東日本）

メッキ層の分析に役立つとして、日本電子製のアルゴンイオンビームを使用して断面試料を作成する装置「クロスセクションポリッシャ」などを導入した。

住友化学、21年度に半導体材売上高1.5倍 EUVレジスト量産（2020/2/27 素材・医療・ヘルスケア）

大阪工場では、高機能な半導体の主要な製造プロセスとなっているフッ化アルゴン(ArF)露光向けのレジストの生産能力を増やす。

地球深部にアルゴンの氷海洋機構が発見、大循環解明に期待（2020/2/14 科学技術・大学）

地球規模でのアルゴンの大循環機構の解明が期待される。 ... 海水中のアルゴンは海洋プレートに取り込まれ、海溝から地球深部に沈み込む。だが、どのようにアルゴンがより深部に運ばれるかは...

エア・ウォーター、印で産業ガスの一部買収契約（2019/11/26 建設・生活・環境・エネルギー１）

AWはインド東部と南部で、製鉄所向けに産業ガス(酸素・窒素・アルゴン)の製造・販売・供給を行う。

大阪有機化学工業、半導体レジスト材拡充金沢工場に新棟（2019/10/30 素材・医療・ヘルスケア）

フッ化アルゴン(ArF)用や極端紫外線(EUV)用のレジスト材料を、半導体レジストメーカー向けに供給する。

大陽日酸、液化ガス受注締め切りを3時間繰り上げ運送会社の負担軽減（2019/9/5 素材・医療・ヘルスケア）

大陽日酸は液化ガスローリーで供給する酸素や窒素、アルゴンの受注締め切り時間を、10月から3時間繰り上げる。... 酸素や窒素、アルゴンは半導体製造や医療用途などに使われ、圧縮してローリーなどで輸送する...

技術で未来拓く・産総研の挑戦(90)大気主成分組成の高精度観測（2019/8/8 科学技術・大学）

さらに近年、大気の主成分である酸素、窒素、アルゴンの濃度を6ケタの高精度で計測するシステムを開発した。 ... またアルゴン濃度は海水温の変動に1対1対応で変動するため、長期観測から...

日鉄溶接工業、スパッタが少ない溶接材 Ar・CO2ガス向け（2019/7/8 素材・医療・ヘルスケア）

日鉄溶接工業(東京都江東区、妙中隆之社長、03・6388・9000)は、アルゴン(Ar)・二酸化炭素(CO2)混合ガス溶接用にスパッタ(溶接時に...

フルテックが小型電気炉ガスに水蒸気含ませ焼成、結晶の欠陥抑制（2019/7/4 機械・ロボット・航空機１）

フルテックはアルゴンなど不活性ガスに超音波で振動させた水蒸気を取り込む独自方式を採用。

対韓国輸出規制国内半導体素材各社、情報収集追われる（2019/7/2 総合２）

フッ化アルゴン(ArF)光源に比べ量産中の半導体への影響は小さいが、最も高価な微細品を対象とした意味でインパクトはある。

化学各社、EUV向け素材の供給体制整備（2019/6/27 素材・医療・ヘルスケア）

EUVは研究開発に長い期間を要し、この間、液浸フッ化アルゴン(ArF)露光技術の進化が進んだ。

エア・ウォーター、米社から印事業買収産業ガスの一部（2019/6/17 素材・医療・ヘルスケア）

事業内容はインド東部における窒素・酸素・アルゴンの製造・販売・供給などに関するもので、海外事業の強化が狙い。

エア・ウォーター、鹿島工場に大型深冷空気分離プラント建設（2019/5/8 素材・医療・ヘルスケア）

生産能力は酸素ガスが1時間当たり3万5000立方メートル、窒素ガスが同3万立方メートル、アルゴンガスは同1100立方メートル。

挑戦する企業/大陽日酸(6)機器の省エネ・小型化挑む（2019/4/19 素材・医療・ヘルスケア）

ASUは空気を圧縮後に冷却液化、蒸留して酸素、窒素、アルゴンに分離する装置だ。

積水ハウス、名古屋に全戸ZEH分譲住宅（2019/3/26 建設・エネルギー・生活２）

窓サッシにアルゴンガス封入ガラスを採用するなどし、断熱性能を北海道の建築物省エネ基準と同等に高めた。

技術で未来拓く・産総研の挑戦(67)微粒子化・ガス交換・ICP―MS法（2019/2/21 科学技術・大学）

しかし、誘導結合プラズマに例えば空気などのアルゴン以外のガスを導入するとプラズマが消えてしまうため、大気中の極微量ガス状元素化合物の直接分析へは応用されてこなかった。

大陽日酸、ミャンマーで産業ガス生産品質面で差別化図る（2019/2/4 素材・ヘルスケア・環境）

大陽日酸はミャンマーで産業ガスのアルゴンの生産を2019年夏に始める。

分子の「扉」でガス制御京大が多孔性材開発（2019/1/25 科学技術・大学）

大きさが極めて近い酸素とアルゴンの分子の分離や、少量のエチレンの長時間放出ができた。

中部エア・ウォーター、エアセパレートガス新充填工場（2018/12/11 素材・ヘルスケア・環境）

既存工場の酸素や医療用酸素、窒素、アルゴンなどの生産を移管する。

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