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THE研究室/東京工業大学精密工学研究所・新野秀憲研究室（2009/4/20）

光学素子やナノインプリントの型加工に有効という。

明昌機工/半導体集積回路転写装置（2009/4/6）

明昌機工線幅30ナノ―50ナノメートル(ナノは10億分の1)の加工ができる半導体集積回路向けナノインプリント(転写)装置の量産タイプを7月に発売する。

2011年にもナノインプリント向け樹脂の市場への本格参入を目指す。ナノインプリント技術は金型を基板に押し当てて微細加工する技術。... 月内に発売する紫外線(UV)型ナノイン...

エリオニクス、イオンビームエッチング装置を発売（2009/2/17）

【立川】エリオニクス(東京都八王子市、本目精吾社長、042・626・0611)は、ハードディスク(HD)などの微細パターン形成に使うナノインプリント用モールドを、高精度...

東工大、1ナノメートルの分解能持つ切削加工機を開発（2008/11/24）

ナノインプリントの型や光学素子などの加工に有効という。

日立と日立産機、小型熱ナノインプリント装置開発（2008/11/4）

日立製作所と日立産機システムは、従来より加熱、冷却時間を6分の1に短縮し、約2分の1に小型した熱ナノインプリント装置(写真)を開発した。... 熱ナノインプリントは微細な凹凸のあるモー...

丸文、微細転写装置で東芝機械と販売代理店契約（2008/9/2）

第1弾として、高輝度発光ダイオード(LED)製造に特化したナノインプリント装置「ST50」の販売を10月から始める。

KAST、同一形状のカーボンナノファイバーを大量作製（2008/8/28）

神奈川科学技術アカデミー(KAST、川崎市高津区、藤嶋昭理事長、044・819・2030)の益田秀樹グループリーダー(首都大学東京教授)らは、ナノインプリント(...

アイセル、50%小型化した超精密サーボプレス機を発売（2008/7/4）

同時にナノテク関連機器としてナノインプリント用精密ダイセットの販売も強化する。

半導体露光3社、レンズ材料定まらず「高屈折率液浸」断念（2008/5/22）

ほかにも金型を用いるナノインプリントや、ウエハーに回路パターンを直接描写する電子ビーム露光などがあるが、生産性向上に課題がある。

三明、半導体製造装置向けテスト加工・評価環境を整備（2008/1/31）

新たにクリーンルームを設け、テスト加工用として光ナノインプリント技術による回路パターン転写装置や、スプレータイプのフォトレジスト塗布装置、露光装置の3機種を設置。