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米半導体受託製造大手のグローバルファウンドリーズ(GF)は、ニューヨーク州の本社近郊に第2工場を新設すると発表した。世界的に半導体不足に対応するため、10億ドルを投じて、現在年産15万...

東レエンジ、半導体ウエハー検査装置 AIで欠陥自動分類 (2021/7/15 機械・ロボット・航空機1)

東レエンジニアリング(東京都中央区、岩出卓社長)は14日、半導体ウエハー検査装置「インスペクトラ」シリーズで人工知能(AI)による自動欠陥分類機能を搭載した新機種を8月...

【EUV向け増】 同社はルテニウムを用いた成膜材料「スパッタリングターゲット材」を、半導体ウエハー上に微細回路を形成する材料や、回路パターンを同ウエハーに焼き付ける原盤の母材「マスク...

経営ひと言/ディスコ・関家一馬社長「フル稼働続く」 (2021/6/11 電機・電子部品・情報・通信)

半導体メーカーの旺盛な設備投資意欲を背景に、半導体ウエハーの切断・研磨装置などの受注が好調。

クラボウ、半導体洗浄中に計測する装置 歩留まり向上 (2021/5/19 電機・電子部品・情報・通信)

クラボウは半導体ウエハーを1枚ずつ洗浄する枚葉式装置において、ウエハー上の液体成分をリアルタイムで計測できる機器を開発した。... 半導体製造の枚葉洗浄工程では洗浄後のウエハーを乾燥させるため、表面に...

企業研究/エア・ウォーター(6)拡大するエレ市場狙う (2021/4/26 建設・生活・環境・エネルギー)

半導体製造装置向けにウエハーを均一焼成する熱板を供給する日本電熱(長野県安曇野市)や、半導体装置向け高性能シール材を供給するエア・ウォーター・マッハ(同松本市)などだ。...

従来のマイクロLEDは、窒化ガリウム(GaN)半導体ウエハーをプラズマエッチング法で小さく削る方法で作製されている。... これにより、半導体材料をほとんど無損傷でエッチング加工できる...

ファイルいい話/日邦プレシジョン テラヘルツ分光装置 (2021/3/25 機械・ロボット・航空機2)

初号機「テラプロスペクター」のほか、パワー半導体ウエハー向けなどキャリア分布状況測定用のシリーズ2機種で累計13台を販売した。

第63回十大新製品賞/本賞 安川電機 (2021/2/12 機械・航空機)

【半導体ウエハ搬送用クリーンロボット SEMISTAR−GEKKO MD124D】ギアレスで超低振動に 半導体ウエハー搬送ロボット「SEMISTAR−GEKKO...

キヤノン、画角倍増の半導体露光装置 後工程向け (2021/2/3 電機・電子部品・情報・通信)

キヤノンは2日、従来機と比べて画角を倍増した後工程向け半導体露光装置「FPA―5520iV LF オプション=写真」を4月上旬に発売すると発表した。... 先端パッケージングで...

半導体の需要が増え続ける「スーパーサイクル」に再突入したことを背景に、半導体製造装置市場の活況が続いている。... 半導体ウエハーの切断・研磨装置などを手がけるディスコも「6月までフル生産が継続しそう...

中国向け好調、事業規模拡大 半導体ウエハー搬送ロボットの有力メーカー、ローツェ。... 「自国の半導体関連産業を育てたい中国政府の政策があった。... いくつかロボットメーカーがあり...

(受賞製品の紹介) ■第63回 2020年 十大新製品賞■ 《本社選定》 【増田賞】 ▽生体認証...

ディスコ、半導体製造装置のフル生産継続 5月初旬まで (2020/12/30 電機・電子部品・情報・通信)

ディスコは、半導体ウエハーの切断・研削・研磨装置や消耗品のフル生産を2021年5月初旬まで続ける。... 供給を増やし、活況な半導体製造装置需要を取り込む。 ... 足元では特に韓国...

【安川電機/半導体ウエハ搬送用クリーンロボット SEMISTAR―GEKKO MD124D】 半導体ウエハー搬送ロボットはギアを使った構...

ジャパンクリエイト、エッチング装置強化 AMTIから事業買収 (2020/12/17 電機・電子部品・情報・通信1)

AMTIはプラズマ制御によるCVD(化学気相成長)装置などに強みがあり、ジャパンクリエイトでは自社の半導体ウエハーエッチング装置の強化につなげる。 ... ジャパンク...

世界トップ級AI 東芝、異常検知10ポイント改善 (2020/12/15 電機・電子部品・情報・通信1)

これにより従来目視だった半導体ウエハーの品質検査工程などの自動化につながる。2021年度から半導体子会社の工場に適用する計画。

活況!半導体製造装置(6)日立ハイテク専務執行役員・石和太氏 (2020/12/10 電機・電子部品・情報・通信1)

「顧客である半導体メーカーは歩留まり向上や資金回収スピードの改善など共通の課題を抱えるが、それを解決するための手法は顧客ごとで異なる。... そういう意味で当社は(半導体ウエハーを)加...

活況!半導体製造装置(5)キヤノン常務執行役員・武石洋明氏 (2020/12/9 電機・電子部品・情報・通信1)

(微細化で優れる極端紫外線〈EUV〉露光装置が注目を集めるが)必ずしもEUVで製造した最先端の半導体だけが市場で求められているわけではない。メモリーやイメージセンサー、車載向けなど、必...

研磨剤として砥粒を内包したパッドは従来よりあったが、砥粒が固定された構造で研磨時に半導体を傷つけてしまう懸念があった。 ... 需要拡大を見据え、SiC半導体用途で25年の研磨工具の...

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