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インタビュー/東京応化工業社長・種市順昭氏 30年売上高、倍の2000億円（2020/10/22 素材・医療・ヘルスケア）

「微細化で電子の通り道を狭くする材料の一つが極端紫外線(EUV)。

信越化、日台でフォトレジスト増産先端半導体向け（2020/10/16 素材・医療・ヘルスケア）

直江津工場に加え、台湾でも極端紫外線(EUV)レジストの生産を始める。

石化の近未来2020(3)丸善石油化学取締役常務執行役員・村上功一氏（2020/10/5 素材・医療・ヘルスケア）

「フォトレジスト用ポリマーの生産能力は順次増強を実施しており、次は極端紫外線(EUV)を含む最先端技術向けの同ポリマーを増強する方向で検討している。

AGC、フォトマスクブランクス生産能力倍増 EUV露光用（2020/7/28 素材・医療・ヘルスケア）

AGCは27日、半導体の生産工程で用いる消耗部材の極端紫外線(EUV)露光用フォトマスクブランクス(写真)の生産能力を現状の2倍程度に引き上げると発表した。

ファイルいい話/レーザーテック半導体マスク欠陥検査装置（2020/7/16 電機・電子部品・情報・通信２）

2019年には最先端の半導体加工技術である極端紫外線(EUV)露光用マスクパターンの欠陥検査装置(写真)を開発。

深層断面/化学業界、新型コロナで成長新局面構造変化に対応（2020/7/14 深層断面）

住友化学の岩田圭一社長は「極端紫外線(EUV)露光向けフォトレジストでもトップを狙いたい」と話す。

大日印、5ナノ対応 EUVリソ向けフォトマスク技術開発（2020/7/11 総合３）

大日本印刷は10日、5ナノメートル(ナノは10億分の1)世代の半導体製造に対応した極端紫外線(EUV)リソグラフィ技術向けのフォトマスクの製造技術を開発したと発表した。

主力工場巡り/キヤノン・宇都宮光学機器事業所手作業でレンズ品質確保（2020/6/30 モノづくり）

半導体製造装置分野では、紫外線で効率的に微細な加工をする極端紫外線(EUV)露光装置が話題を集める。

住友化学、EUVレジスト増強大阪工場に新棟（2020/4/23 素材・ヘルスケア）

住友化学は22日、最先端の半導体製造プロセスである極端紫外線(EUV)露光向けフォトレジストの開発・評価体制を強化すると発表した。

住友化学、21年度に半導体材売上高1.5倍 EUVレジスト量産（2020/2/27 素材・医療・ヘルスケア）

最先端の露光技術である極端紫外線(EUV)露光に対応したレジストも近く量産を始める。

第62回十大新製品賞/日本力賞レーザーテック（2020/2/20 電機・電子部品・情報・通信１）

レーザーテックは最先端の半導体加工技術である極端紫外線(EUV)露光用マスクパターンの欠陥を高感度に検出するEUV欠陥検査装置ACTIS「A150」を製品化した。

第62回十大新製品賞・喜びの声「革新」起こして社会に貢献（2020/1/24 総合３）

【レーザーテック・楠瀬治彦副社長】極端紫外線(EUV)利用の技術開発に取り組んで20年近い。

輸出管理の半導体材料米デュポンが韓国に生産工場（2020/1/13 総合３）

新工場で生産するのは光源に「極端紫外線(EUV)」を用いる最先端のEUVレジスト。

半導体、微細化に挑む 5G・EV進展で（2020/1/13 電機・電子部品・情報・通信）

【設備補完強み】極端紫外線(EUV)露光技術で微細な半導体を生産するメーカーの採用を見込む。

NICT先端研究/情通機構(117)大気の揺らぎ、宇宙に影響（2020/1/14 科学技術・大学）

高さ60キロメートル以上の上空の大気は、太陽からの極端紫外線などによってその一部が電離され、イオンと電子からなるプラズマとなっている。

2019年第62回十大新製品賞（2020/1/6 十大新製品賞）

【レーザーテック/アクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置 ACTIS「A150」】最先端の半導体加工技術である極端紫外線(EUV)露光用マ...

日立ハイテクノロジーズ、5nm世代向け半導体計測装置測長再現精度20%向上（2019/12/17 電機・電子部品・情報・通信２）

極端紫外線(EUV)露光技術で微細な半導体を生産するメーカーの採用を見込む。

大阪有機化学工業、半導体レジスト材拡充金沢工場に新棟（2019/10/30 素材・医療・ヘルスケア）

フッ化アルゴン(ArF)用や極端紫外線(EUV)用のレジスト材料を、半導体レジストメーカー向けに供給する。

JSRの4―9月期、減収営業減益エラストマー不振（2019/10/29 素材・医療・ヘルスケア）

EUV(極端紫外線)レジストの韓国向け輸出管理強化の影響は「半導体関連の売り上げに占める比率は小さく、影響は小さい」(宮崎秀樹取締役常務執行役員)とした。 &#...

信越化学の4―9月期、当期最高益（2019/10/28 素材・医療・ヘルスケア）

EUV(極端紫外線)レジストの韓国向け輸出管理強化の影響は少ないという。

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