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富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズの静岡工場(静岡県吉田町)に、フッ化アルゴン(ArF)用レジストの調合タンクやフィルターを含む充填設備を新設。
複数回の露光を繰り返して微細回路を形成するArF(フッ化アルゴン)液浸露光装置に比べ、コストを64%削減できるという。
米ニューコア・スチール・ネブラスカの棒鋼工場に酸素、窒素、アルゴンガスを供給するほか、併産される液化酸素や液化窒素、液化アルゴンは周辺プラントなどに販売する。
富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズの静岡工場(静岡県吉田町)に、フッ化アルゴン(ArF)用レジストの調合タンクやフィルターを含む充填設備を新設する。
現在量産レベル最先端のフッ化アルゴン(ArF)液浸露光装置は波長193ナノメートル(ナノは10億分の1)のレーザー光を発することができるが、波長の制限により微細化の限界...
三菱重工業グループの英プライメタルズテクノロジーズは、スロベニアの製鉄会社、アクロニ向けに容量95トンのアルゴン酸素精錬装置(AOD炉、写真)と除塵(じん)設備を納入、...
トリミングでのレーザー加工は高価なアルゴンガスを使用してきたが、安価な窒素ガスでの加工を実現した。
微細加工技術の領域で新たな事業の軸を作りたい」 【記者の目/ナノインプリントに焦点】 早い段階で先端露光技術の一つであるフッ化アルゴン(ArF&#...
ロッテ・ケミカル・ルイジアナ(ルイジアナ州)に酸素と窒素を供給するほか、併産される液化アルゴンはほかのプラントに販売する計画だ。 ASUは空気をコールドボックスで冷却...
フッ化アルゴン(ArF)液浸装置に向けたフォトレジストや周辺材料の開発と検査・評価を支える。
半導体製造装置事業では最大手の蘭ASMLへの対抗は難しいと判断し、最先端の液浸タイプのフッ化アルゴン(ArF)露光装置開発を大幅に縮小する。
現在は空気分離装置(ASU)2機で生産した酸素、窒素、アルゴンガスを東西約10キロメートルに広がるコンビナート全域にパイプラインで供給しており、総延長は30キロメートルに達する。...
LEDなどの洗浄には、酸化作用のないアルゴンプラズマの利用が一般的。ただアルゴンでは物理的な洗浄となるため、スパッタリングで銀が周辺に再付着し輝度低下などを招く課題があった。
酸化物系の固体電解質は硫化物系に比べドライルームやアルゴン環境を必要とせず、製造しやすい。
米国ではカリフォルニア州に空気から酸素や窒素、アルゴンといったガスを作り出す19基目の空気分離装置を新設する。
従来、ITO透明電動膜は真空・高温度下で成膜する必要があったが、特許によりスパッタリングする際にアルゴンや酸素などのガス流量を変化させ、チャンバーの電圧・圧力を変えることで常温成膜できる。
