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英国に開発拠点も新設し、当社と共同開発する場所にする」 ―半導体分野はイオン注入装置など複数の製品を手がけます。 「半導体の製造プロセスを何でもできるわけではなく、...

住重が新中計、設備投資1900億円 ロボ・半導体など重点 (2024/2/15 機械・ロボット・航空機1)

半導体はイオン注入装置など製造装置の新製品開発、海外展開強化に充てる。

通常シリコン光回路はウエハー面内に形成されるが、エレファントカプラーではシリコン光配線の先端をイオン注入によりウエハー面に対して垂直方向に立体湾曲加工して、ウエハー面に垂直な方向から光集積回路へ光入出...

VACUUM2023真空展/半導体製造の課題解決 (2023/11/30 機械・ロボット・航空機2)

スパッタリングやイオン注入装置向けに気体をため込み、排気する製品だ。

発売した「ionPOWDER100=写真」は、低真空圧下で粉体表面にイオンを注入することで表面を改質できる。... 低温でのイオン注入により、熱に弱いポリマーの硬度を約10倍に高められる。&#...

堀場、半導体製造歩留まり改善 微細化対応で新製品 (2022/12/13 機械・ロボット・航空機1)

近年はエッチングだけでなく成膜やイオン注入の工程でもウエハー温度制御のニーズが増えているという。

住友重機械工業は26日、子会社の住友重機械イオンテクノロジー(東京都品川区)が愛媛県西条市に建設していた半導体製造装置「イオン注入装置」の新工場が竣工した...

成膜装置や帯電した原子や分子(イオン)注入機、洗浄装置など裏面工程の装置を増設する。... スマートフォン用リチウムイオン電池の保護IC向けの比率が高いが、足元ではIGBT向けが伸びる...

ダイヤモンドはシリコン基板へのイオン注入法に当たる不純物添加の方法が乏しかった。

研究チームではイオン注入によりトランジスタを作製することで、SiCの同一基板上で相補型回路を作製することに成功。

第64回十大新製品賞/本賞 ダイヘン (2022/2/8 機械・ロボット・航空機1)

初号機は1月末に国内のイオン注入装置メーカーに納入された。... 真空環境で優位な性能を発揮できることを打ち出し、イオン注入装置などで標準搭載の獲得を狙う。

(半導体の製造工程に使う)イオン注入装置は新工場の建設により生産台数を倍増する。

その実現には、直径10ナノメートル程度の軌道の中で窒素イオンを飛ばして、窒素イオンを1個ずつダイヤモンドの狙った位置に打ち込み、NVセンターを1個ずつ作る究極のイオン注入技術の確立が必要になる。...

真空下で高速プロセスが求められるイオン注入装置などを主なターゲットにする。

天田財団、今年度前期の助成テーマ82件(2) (2021/10/21 機械・ロボット・航空機2)

【研究開発助成/一般研究開発助成(レーザプロセッシング)】▽高橋宏治/横浜国立大学大学院工学研究院「レーザピーニングによる3D造形セラミック部材の長寿命化」▽岡田達...

新社長登場/日新電機・松下芳弘氏 チャレンジ精神ある文化に (2021/8/10 電機・電子部品・情報・通信2)

部門間異動を活発化させ、海外勤務を経験するなど社員には仕事の幅を広げてもらいたい」 《5年間で設備投資は300億円、研究開発費は380億円といずれも過去最高額を投じる》 &#...

チャネルの下に形成するnウェルという構造をイオン注入を止めて作り続けるとチャネルとして働く。

重工、成長分野に集中 新エネ・IoT・AIフル活用 (2021/5/4 機械・ロボット・航空機)

半導体の製造工程で使われ、シリコンウエハーに加速させたイオンを注入する装置の新工場を愛媛県に建設する。... 住重の子会社がイオン注入装置の開発や製造、販売を手がけており、19年度売上高は約320億円...

住友重機械工業は約110億円を投じて、半導体の製造工程で使われるイオン注入装置の新工場を愛媛県内に建設する。

研究開発費はさまざまな面で必要で、長期的な課題に取り組むためにも、前回の中計期間よりはやや増える」 ―半導体の製造工程に使われるイオン注入装置の新工場を建設します。 ...

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