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記事検索結果
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住友重機械工業も半導体製造関連向けに、スパッタリングやイオン注入装置用に気体をため込んで排気するクライオポンプを訴求する。
サービス人材育成重視 住友重機械工業の子会社、住友重機械イオンテクノロジー(東京都品川区)はウエハーに半導体特性を与える「イオン注入装置」で国内トップシェアを誇り、イ...
来年から顧客評価 住友重機械イオンテクノロジー(東京都品川区、月原光国社長)は、高性能なメモリーやロジックに対応した次世代イオン注入装置を実用化する。... 住友重機...
イオン注入装置はウエハーにリンやボロンなどの不純物イオンを打ち込み、電気特性を変化させる装置。... 一方、SiCでは、イオン注入後の熱処理でも結晶性を回復するのが難しい。そこでウエハーを500度C程...
英国に開発拠点も新設し、当社と共同開発する場所にする」 ―半導体分野はイオン注入装置など複数の製品を手がけます。 「半導体の製造プロセスを何でもできるわけではなく、...
通常シリコン光回路はウエハー面内に形成されるが、エレファントカプラーではシリコン光配線の先端をイオン注入によりウエハー面に対して垂直方向に立体湾曲加工して、ウエハー面に垂直な方向から光集積回路へ光入出...
発売した「ionPOWDER100=写真」は、低真空圧下で粉体表面にイオンを注入することで表面を改質できる。... 低温でのイオン注入により、熱に弱いポリマーの硬度を約10倍に高められる。&#...
住友重機械工業は26日、子会社の住友重機械イオンテクノロジー(東京都品川区)が愛媛県西条市に建設していた半導体製造装置「イオン注入装置」の新工場が竣工した...
成膜装置や帯電した原子や分子(イオン)注入機、洗浄装置など裏面工程の装置を増設する。... スマートフォン用リチウムイオン電池の保護IC向けの比率が高いが、足元ではIGBT向けが伸びる...
研究チームではイオン注入によりトランジスタを作製することで、SiCの同一基板上で相補型回路を作製することに成功。
初号機は1月末に国内のイオン注入装置メーカーに納入された。... 真空環境で優位な性能を発揮できることを打ち出し、イオン注入装置などで標準搭載の獲得を狙う。
(半導体の製造工程に使う)イオン注入装置は新工場の建設により生産台数を倍増する。
その実現には、直径10ナノメートル程度の軌道の中で窒素イオンを飛ばして、窒素イオンを1個ずつダイヤモンドの狙った位置に打ち込み、NVセンターを1個ずつ作る究極のイオン注入技術の確立が必要になる。...
【研究開発助成/一般研究開発助成(レーザプロセッシング)】▽高橋宏治/横浜国立大学大学院工学研究院「レーザピーニングによる3D造形セラミック部材の長寿命化」▽岡田達...
部門間異動を活発化させ、海外勤務を経験するなど社員には仕事の幅を広げてもらいたい」 《5年間で設備投資は300億円、研究開発費は380億円といずれも過去最高額を投じる》 &#...
