特許を取得した浮遊ガス加熱式でハンダバンプの形成精度を高め、ウエハー搬送に専用トレーが不要な枚様式を採用した。... また、ウエハーの装置内搬送に枚様式を採用することでトレーなどの搬送治具を不要にした...

バッテリー電源で使用でき、半導体製造工程での集積回路(IC)検査やウエハー搬送装置、自律移動ロボット(AMR)などでの利用を見込む。

バッテリー電源で使用でき、半導体製造工程での集積回路(IC)検査やウエハー搬送装置、自律移動ロボット(AMR)などでの利用を見込む。

PHT(フィット、東京都北区、黄清敏社長)は、米子会社のアドバンスド・スペシャル・ツールズ(AST、ミシガン州)で半導体製造に用いるウエハー搬送装置...

次世代の成長へ資金積極投入 半導体ウエハー搬送装置のローツェが急成長を遂げた。

それらをロボットに応用すれば、高速で動かしても振動が少なくウエハー搬送時に傷が付きづらい。

ウエハー自動剝離装置を組み立てる。... ウエハー自動剝離装置は切断したインゴットからウエハーを分離する装置。... 同社は2022年9月に中国子会社のウエハー搬送装置製造工場を完成したほか、23年1...

今回完成したクリーン搬送システム工場FAB3(第3工場)は2階建てで床面積約1万48平方メートル。これによりクリーン搬送システム工場の床面積は全体で2万3379平方メートルとなり、開設...

足元はロードポート(半導体製造装置に材料を供給するインターフェース)を中心とする半導体関連のクリーン搬送事業が業績をけん引しています。... 例えば半導体ウエハー搬送では真空環境での搬...

信越ポリマーは3日、総額約215億円を投じてシリコンウエハー搬送用容器の生産能力を増強すると発表した。... 同社は主にウエハーメーカーとデバイスメーカー間の輸送に使われる出荷用容器と、デバイスメーカ...

ローツェは中国・上海市で、半導体ウエハー搬送装置の新工場(写真)を完成させた。... ウエハーを容器から製造装置に出し入れする「EFEM」という装置を主に組み立てる...

【福山】ローツェは8日、ベトナムで建設していた半導体ウエハー搬送ロボットの新工場が完成したと発表した。

ダイヘンが2021年11月に製品化した半導体ウエハー搬送ロボット「UT―VDW3000」は、真空環境下で1時間当たりウエハー処理枚数で従来比30%増の650枚を実現した。... 真空環境ではロ...

ダイヘン・平原頼夫クリーンロボット事業部長 半導体製造の真空内のウエハー搬送を極限まで高速化に挑戦した製品で、名誉ある賞を受賞でき大変光栄だ。

日本ロボット工業会賞 ダイヘン 真空環境用ウエハ搬送ロボット UT-VDW3000 半導体製造の真空環境下で使う。ウエハ...

ストッカーやEFEM(エクイップ・フロント・エンド・モジュール)といった半導体ウエハー搬送システムの組み立て能力を増強する。... ローツェは、ウエハー搬送ロボットなど単体製品の生産は...

ロードポートに加え、ウエハー搬送ロボットを組み合わせた複合モジュール「EFEM」などの半導体関連機器も強化する。 ... 25年度にクリーン搬送機器の生産能力(額)を...

産業用多関節ロボットや半導体ウエハー搬送用ロボット向けの歯車を加工。

搬送容器からのウエハーの出し入れを大幅に効率化できる。... 発売した搬送ロボット「KHR=写真」はハンド部を、ウエハーを保持するための25段構造とした。... 25枚は、FOUPやFOSBと...

【真空環境用ウエハ高速搬送ロボット「UT-VDW3000」】 「真空環境下で世界最速レベルの搬送を実現する」―。ダイヘンの櫛田敏和クリーンロボッ...