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ウシオ電機、小型エキシマ照射装置発売（2020/8/20 電機・電子部品・情報・通信１）

ウシオ電機は小型エキシマ照射装置「HPV―STシリーズ=写真」を発売した。

ウシオ電機/導入負担軽減したエキシマ照射装置（2020/8/10 新製品フラッシュ２）

ウシオ電機は小型エキシマ照射装置「HPV―STシリーズ」全2種類を8月に発売する。

名大など、超流動ヘリウムの流れ可視化「乱流」理解へ装置開発（2020/6/22 科学技術・大学）

流れを観察するトレーサーとして、中性子照射により作られるエキシマーを使い、その観測に成功した。... このエキシマーを可視化するため、小型で高強度の蛍光誘起レーザーを開発し、可搬型のエキシマー計測装置...

フッ素樹脂への配線簡略化芝浦工大が新技術（2020/5/22 科学技術・大学）

同技術では、アンモニア水溶液の蒸気中にフッ素樹脂基板を設置し、エキシマ光を照射することで表面の親水化に成功した。

タツモ、UV照射装置メーカー子会社化（2017/4/13 電機・電子部品・情報・通信２）

半導体製造工程でのディコンタミネーション(除染)や表面処理に対しエキシマUVが有効とされることから、同装置の技術を持つクォークテクノロジーの買収を決めた。

ウシオ電機は簡易実験用エキシマ光照射装置「ミニエキシマ」を5日に発売する。... 電源コンセントに差し込めばすぐに使用でき、エキシマ光の応用開発に活用できる。

兵庫県立大、半導体薄膜の結晶化温度 200度C低く（2010/11/26）

現在はエキシマ・レーザーやYAGレーザーを使っているが、ガラス基板と半導体の界面温度が高く、基板が劣化するなどの課題があった。

物材機構、六方晶窒化ホウ素仕様のUV面発光素子を開発（2009/9/21）

手のひらに収まる大きさに小型化し、水銀やエキシマなど従来のランプ照射装置より消費電力を約30分の1に抑え、約3000時間使用できる。

【横浜は戦略拠点】西川計測(東京都港区、西川徹社長、03・3453・1331)は、波長172ナノメートル(ナノは10億分の1)のエキシマ光照射機を展示。