半導体の高性能化に伴って成膜やエッチング工程で使われる材料も変わり、種類も多岐にわたる。

市況に関係なく高水準の研究開発を継続し、市場規模の大きいエッチング工程の装置で画期的な技術の開発などにつなげてきた。... 3次元(3D)NANDのチャネル工程(垂直方向の穴を...

樹脂メッキで六価クロムを使う工程は二つ。最初に行うエッチング処理と最後に施すクロムメッキ工程だ。... 課題はエッチング工程。

ドライエッチングなどの半導体製造技術の研究発表が中心となる同会合で、チラーに関する論文が紹介されるのは極めて異例だ。 ... ドライエッチング工程で生じる温度変化を即座に検知してチラ...

新拠点にはシリコンウエハー上の不要な部分を削り取るエッチング装置をはじめ、回路線幅が設計通りかを測る測長SEMなどを設置。... 微細化などを背景にエッチング工程の複雑さは増す。

高純度硝酸は半導体の洗浄やエッチング工程に使われる製品。

【京都】サムコは13日、窒化ガリウム(GaN)や炭化ケイ素(SiC)パワーデバイス向けなど、非シリコン材料を用いた電子デバイスのエッチング...

住友精化は半導体製造工程用の高純度ガスを手がける。... 成膜やエッチングに欠かせない高純度ガスは、国内や韓国、台湾の大手半導体メーカーに供給している。... 半導体製造のエッチン...

【用途は多種多様】 高純度ガスの用途は半導体の成膜材料やエッチング工程、洗浄工程と多種多様だ。同社は大手の一角で、エッチングを中心に約20種類を扱う製品群の幅広さを特徴とする。......

同製品は、半導体製造の洗浄やエッチング工程に幅広く使われており、原料を含めた供給能力の確保が重要だ。... また超純過水のほか、製造工程で使用される電子工業薬品「EL薬品」を展開。

微細化の実現に向けては露光装置が最重要視されるが、同社は成膜、塗布・現像、エッチング、洗浄の各装置を駆使。... その上で同社が最も注力しているとみられる分野が、ウエハー表面に焼き付けた回路に沿って不...

三菱ガス化学は、半導体製造の洗浄工程などに使用される電子工業薬品「EL薬品」を四日市工場(三重県四日市市)で増産する。... 輸出対応が難しい場合、米国拠点では一部工程の生産を行い出荷...

成膜やエッチング工程などで真空度を測る装置。

冷却機構と冷却時間の削減で製造工程の効率化に寄与する。 ... 3次元NAND型フラッシュメモリーで、ウエハー上に形成する薄膜のエッチング工程で使うリン酸の濃度管理向け。... 微細...

エッチング工程での発塵の少なさや耐薬品性などの特性をアピールし用途拡大を狙う。... 半導体製造のエッチング工程で使用する薬液やガスによる劣化も防ぐことができる。

フッ化水素も半導体の微細な回路を加工するエッチング工程で、不要な部分を溶解させる薬品として使われる。... ステラケミファはエッチング用薬液(フッ化水素酸)のトップメーカーで、高純度の...

半導体製造の前工程はウエハー上に微細な加工など物理的・科学的なプロセスを経て大規模集積回路(LSI)チップを作る工程となる。... 一方、半導体の多層化(2次元〈2D〉構造から...

従来、プラスチックへのメッキをはがれにくくするには、クロム酸と硫酸の混合液で表面を粗くするエッチング工程が必要で、環境負荷と手間がかかっていた。

新設した今井工場(同青梅市)などの設備を増強し、半導体製造のエッチング工程や成膜工程で使うクーリングプレート、電極を増産する。

また、銅メッキ膜と銀ナノ粒子層を同じエッチング液で除去できるため、エッチング工程の削減にも貢献する。... また、プリント基板などの場合は絶縁信頼性を確保するために金属膜のエッチング後に残ったパラジウ...