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神栄テクノ、微量水分計を小型化 半導体製造向け （2023/5/30 機械・ロボット・航空機２）
【神戸】神栄テクノロジー(神戸市中央区、小山文也社長)は、ガス中の微量水分をキャビティーリングダウン分光法(CRDS)で計測する小型の微量水分計「デ...
技術で未来拓く・産総研の挑戦(122)高精度な湿度測定を目指して （2020/5/14 科学技術・大学）
開発中の微量水分計は、吸収分光法の一種であるキャビティーリングダウン分光法(CRDS)という測定手法を用いている。
