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材料進化の最前線 NIMS最新成果(97)CL法、GaN欠陥評価 （2021/8/18 科学技術・大学）
欠陥は、それ自身が悪さをすることもあるが、このように不純物を運ぶ道として働き、デバイス不良を起こすこともある。... 【物は使いよう】 転位による不純物の高速拡散はパワーデバイスにと...
レーザーテック、薄型ディスプレー用大型原版検査装置を改良 （2017/5/22 電機・電子部品・情報・通信）
AR膜ミッシング以外のマスク性能に影響をおよぼす各種の「キラー欠陥」を短時間で高感度に検査できる。... 同装置は大型マスクブランクスの製造工程で発生した合成石英(Qz)ガラス上スクラ...
レーザーテック、ウエハー欠陥検査装置の新シリーズ発売 （2008/11/14）
【横浜】レーザーテックは13日、ウエハー欠陥検査装置の新シリーズ「M5640=写真」を発売したと発表した。... 同装置はウエハー製造工程で形成されるキラー欠陥(デバイス性能を阻害する...
