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日本企業がほぼ独占している例を挙げると、半導体ウエハーに感光剤を塗って現像するコータ・デベロッパは東京エレクトロン(TEL)が世界の90%、走査型電子顕微鏡(SEM&#...

南陽、半導体装置のエイ・エス・エイ・ピイを買収 (2022/7/26 機械・ロボット・航空機2)

南陽はコーター・デベロッパー(塗布現像装置)などの半導体製造装置を製造販売するエイ・エス・エイ・ピイ(さいたま市西区)の発行済み株式の全数を取得し、子会社化した。

22年3月期は最先端から成熟世代にわたる幅広い世代の半導体需要の拡大を受け、半導体ウエハーに感光剤を塗って現像する「コータ・デベロッパー」など主力製品の販売が好調だった。

ロジック半導体などで最先端から成熟世代まで幅広く需要が拡大し、半導体ウエハーに感光剤を塗って現像するコータ・デベロッパなど主力製品の販売が好調だった。

主に、塗布現像装置「コータ・デベロッパ」、洗浄装置「サーフェスプレパレーション」などの半導体製造装置の開発を手がける。

新工場は「300ミリメートルウエハー対応塗布現像装置コーター・デベロッパー関連が中心となるが、一部、洗浄機製造も考えている」(白瀬社長)という。

東京エレクトロンは、EUV向けコータ・デベロッパ(塗布現像装置)でシェア100%。

東京エレクトロンは、EUV向けコータ・デベロッパ(塗布現像装置)でシェア100%。

活況!半導体製造装置(1)東京エレクトロン社長・河合利樹氏 (2020/12/3 電機・電子部品・情報・通信1)

一方、コータ・デベロッパ(塗布現像装置)は極端紫外線(EUV)に対応した装置が必要となるなど、付加価値が高まっている」 ―米中貿易摩擦がもたらす影響を...

SCREEN、検査体制を刷新 リードタイム短縮へ (2019/3/15 電機・電子部品・情報・通信1)

半導体ウエハー洗浄装置と、塗布現像装置(コーター・デベロッパー)を中心にリードタイムを短縮する。

ニコンはコータ・デベロッパ(感光剤の塗布・現像)や計測といった露光前後の工程の大手装置メーカーを対象に連携交渉を始めた。

子会社のSOKUDO(京都市下京区)が手がける半導体製造用のコーター・デベロッパー(塗布現像装置)の生産拠点で売り上げ、受注ともに回復傾向だ。

【京都】大日本スクリーン製造は、第10世代(10G)以降のフラットパネルディスプレー(FPD)の製造を見据えた塗布現像装置(コーター・デベロッパー)向け...

【京都】SOKUDO(京都市下京区、須原忠浩社長、075・256・8245)は29日、半導体製造用の塗布現像装置(コーター・デベロッパー)「ソクドデュオ」の生産能力を向...

子会社の東京エレクトロン九州の合志事業所では、半導体のコータ/デベロッパ(塗布現像装置)の研究開発・製造などを行っており、現在はASMLのArFドライ露光装置を設置している。

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