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【相模原】慶応義塾大学理工学部の鈴木哲也教授らとダイキョーニシカワは、曲面を持った大面積のポリカーボネート樹脂に透明なシリカ薄膜を高速で成膜できる装置を開発した。... 成膜したシリカ薄膜の耐摩耗性が...
ポリカーボネートの基板上にアクリル系樹脂膜を成膜し、その上にシリカ薄膜を積層した。樹脂を挟むことでシリカ薄膜の剥離を抑えられる。... プラズマ噴射ヘッドを分速1メートルで動かすと、厚みが1ナノ...