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芝浦メカトロ、6層対応可能なスパッタリング装置 (2019/11/8 電機・電子部品・情報・通信1)

芝浦メカトロニクスは、最大6層まで積層成膜可能な高速・多層枚葉式スパッタリング装置「BM―900」シリーズを開発した。... CD・DVD用のスパッタリング装置で培った高速成膜技術・装置の小型設計と、...

芝浦メカトロニクスは、電磁波シールド用スパッタリング装置「CCS―2110」を開発した。... 開発したスパッタリング装置は、高周波対策向けに磁性体を使った独自開発の新材料と金属を交互に10層積層した...

2006年から韓国製を販売してきたが、自社が得意とする真空装置との組み合わせでより使いやすくすることや、仕様変更などユーザーニーズに迅速に応えるため自社製に切り替える。... 有機ELデバイスの製造や...

そのパワーICにはスパッタリング装置とイオン注入装置が用いられ、大容量コンデンサーには巻き取り式真空成膜装置が使用されている。

2019真空展/紙上プレビュー(下)芝浦メカトロニクスほか (2019/8/29 機械・ロボット・航空機1)

【芝浦メカトロニクス/光学・車部品向け装置を紹介】 芝浦メカトロニクスは光学・自動車部品向けのスパッタリング装置をパネルと模型で紹介する。電子・光学部品向けには低温多層積層スパッタリ...

【日立造船/2機能一体、連続成膜技術】 日立造船は反射防止膜・防汚膜一体型ロール・ツー・ロール成膜装置(イメージ)などの技術を提案する。... このほか、樹脂部品への高速成膜が可能な...

同装置は高速度鋼(ハイス)表面などを硬化処理する際、窒素原子の拡散層に副次化合物などをほぼ生じさせずに、複雑形状の加工対象物でも均一に表面窒化処理を行えるのが大きな特徴。 ... 導...

速度改善、実用性高まる 京浜ラムテック(横浜市港北区、松本光裕社長、045・620・6460)は、高密度プラズマによるスパッタリング成膜源「ラムカソード」を開発した。... スパッタ...

同社のスパッタリング成膜源「ラムカソード」を使う。... 真空成膜装置や摩擦撹拌(かくはん)接合、マテリアル事業を展開する。

エリオニクス、イオンビーム照射装置 時系列で条件設定可能 (2018/12/11 機械・ロボット・航空機2)

最高3キロボルトまで加速するイオンビームを照射し、スパッタリング微細加工や薄膜生成、表面クリーニングなどに利用する。... 同装置は磁場中の電子サイクロトロン共鳴(ECR)を活用したECRイオン銃を搭...

半導体や液晶の製造装置の部品加工などで幅広い受注獲得を目指す。 ... これまでも半導体や液晶関係を手がけていたが、液晶用のスパッタリング装置などの大型部品にも対応する。

機能簡素化、使いやすく アルバック東北(青森県八戸市、池田和夫社長、0178・28・7693)は、アルバックグループの生産拠点として、ディスプレー用スパッタリング...

滑りやすさが求められる機械や半導体製造装置の摺動(しゅうどう)面などへの応用を目指す。 ... 高速度工具鋼を溶かしプラズマ放電によるスパッタリングで、炭化クロムのナノワイヤを成長さ...

2018真空展/紙上プレビュー(中)フジ電科ほか (2018/8/30 機械・ロボット・航空機1)

真空乾燥装置と真空ベーキング装置にも強みを持ち、オーダーメードの設計・製作にも対応する。 【芝浦メカトロニクス/無人化生産ライン対応製品紹介】 芝浦メカトロニクスは...

(3回掲載) 【USTRON/蒸着材料や石英ガラスを低価格で】 USTRON(東京都台東区、03・5812・1811)は、蒸着材料、スパッタリングターゲット(写真)...

非鉄金属各社、電子材事業好調 IoT・AI普及追い風 (2018/8/17 素材・ヘルスケア・環境)

スマートフォンなどの部材となる圧延銅箔や半導体製造工程で使う薄膜形成材(スパッタリングターゲット)の販売増が寄与した。 ... 現在の主力製品である圧延銅箔や半導体用スパッタリングタ...

不二越、DLC2方式装置開発 成膜速度1.5倍 (2018/7/31 機械・ロボット・航空機1)

不二越は工具や自動車部品の耐摩耗性を高めるダイヤモンドライクカーボン(DLC)成膜装置を開発した。... 2方式はイオンビームによるスパッタリング法、ガスをプラズマ中に注入するP―CVD(化学気相成長...

【京都】島津製作所は車のヘッドアップディスプレー(HUD)用ミラー部品を効率的に量産できる高速スパッタリング装置(写真)を20日発売する。他社従来装置で難しい汎用樹脂成形品へのアルミニウム膜の成膜がで...

スパッタリングなどで貴金属飛散物が付着する製造装置・器具の精密洗浄分野や、メッキなど表面処理分野で需要が伸びている。

スーパーサイクルに挑む―半導体部材・装置各社(3)アルバック (2018/4/27 電機・電子部品・情報・通信2)

ウエハー上に回路材料の層を作るスパッタリング装置は、半導体ウエハーに回路を形成する前工程で使われる。 ... 近藤執行役員は「台湾でのスパッタリング装置の需要が高まっている」と増産の...

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