- トップ
- 検索結果
記事検索結果
330件中、1ページ目 1〜20件を表示しています。 (検索にかかった時間：0.023秒)
この他に、模擬の宇宙空間を作れる試験装置「スペースチャンバー」などの設備も整っており、宇宙での運用に耐えうる装置の開発を進める。
基板を投入する真空チャンバーが1段と2段の2種類を用意し、2段の方がより多く加工できる。
チャンバーに供給するガスの切り替え時に従来品比約8倍の高速応答を実現した最上位機種と、超小流量制御を可能にした機種。
装置に複数あるチャンバーへのガス供給で圧力変動が生じた時に過敏反応し、瞬間的に流量が乱れる課題を解消でき、生産の安定化を実現する。
アクリル酸をプラズマ発生装置のチャンバー内に供給し、加工対象物の状態制御などを工夫して処理することで、引火性を下げることができた。
従来は専用のOTAチャンバーが必要のためコストがかかるが、3社の協業で既存の電磁環境適合性(EMC)チャンバーに統合でき、導入コストを抑えられる。
神戸工場はエッチング装置の排ガス管を保護するためのコーティングを手がけ、将来はチャンバー内にエッチングガスを供給する管への表面処理も始める予定。
【キヤノンアネルバ/半導体製造装置向け真空計】 キヤノンアネルバ(川崎市麻生区)は、半導体やソーラーパネル製造装置の真空チャンバー内の圧力を高精度に測る真空...
「現在半導体市場は調整局面に入っていてセラミックスや真空チャンバー関係は引き合いが弱いと感じているが、当社は多品種のモノを手がけている。
牧野フライス製作所は、真空チャンバーといった半導体製造装置部品の大型化などに対応するため、22年に5軸制御横型MC「a900Z」を、23年には4軸制御横型MC「a91nx」を相次ぎ投入。
同社がラインアップするチャンバーやバルブユニット、各種治具などと同試験装置を組み合わせシステム化した。... 試験対象となるパワー半導体を固定するチャンバーも6系統の水冷モジュールなどを備え、安全面に...
牧野フライス・芝浦機械/半導体・航空機部品に照準 アルミニウムの加工対象物(ワーク)を削り出す真空チャンバーなど、大型の半導体装置部品の加工にも対応する5軸...
