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VACUUM2023真空展/紙上プレビュー(1) (2023/10/25 機械・ロボット・航空機1)

【荏原/小型空冷式ドライ真空ポンプ】 荏原は小型の空冷式ドライ真空ポンプ「EV―SA型=写真」を出展する。... 排気系全体を遠隔監視し、ドライ...

VACUUM2022真空展/紙上プレビュー(3) (2022/10/5 機械・ロボット・航空機2)

【荏原/小型軽量のドライ真空ポンプ】 荏原は空冷式ドライ真空ポンプ「EV―PA型=写真」を展示する。... 【ライボルト/100...

VACUUM2022真空展/紙上プレビュー(2) (2022/10/4 機械・ロボット・航空機2)

【神港精機/ハードプロセスでも安定運転】 神港精機(神戸市西区)は、ドライ真空ポンプ「SST/SSXシリーズ=...

特殊メタルは従来、自動車部品などを製造してきたが、直近では真空ドライポンプといった半導体製造装置向けの需要が伸長。

英エドワーズ、4倍速のドライ真空ポンプ (2020/2/21 機械・航空機1)

真空技術製品大手の英エドワーズは高性能ドライ真空ポンプの新製品「nXRi」を発表した。nXRiは排気速度が同等サイズのドライポンプより4倍高速。

インタビュー/荏原社長・前田東一氏−収益性・資産効率重視 (2018/2/20 機械・ロボット・航空機1)

「半導体製造装置向けの真空ドライポンプと、標準ポンプで考えている。... ドライポンプは藤沢工場内に新棟の建設も計画。... 課題はやはりドライポンプだ。

標準ポンプと半導体製造装置向けドライ真空ポンプの組み立てに、IoT(モノのインターネット)やロボットを導入する。... ドライポンプについては工場内の空き地に、19年後半の完成を視野に...

英エドワーズ、新型空冷ドライポンプ発表 (2017/9/21 機械・ロボット・航空機2)

真空技術製品大手の英エドワーズは新しい空冷式ドライポンプ「nXLiシリーズ」を発表した。... オイルフリーの非接触構造のポンプを採用し、耐用年数は最大5年。

真空展、78社・団体が出展 最新製品・技術アピール (2017/9/7 機械・ロボット・航空機1)

アルバックはドライ真空ポンプ「LSシリーズ」を出品した。... スクリュータイプのドライポンプで特許を申請した。... 下畝雄一郎真空応用装置担当部長は「自動車業界はドライ化の流れがある」と指摘。

【京都】島津エミット(大阪市中央区、西村節志社長、06・6222・0417)は、排気速度が従来機比6倍のドライポンプを使った、ヘリウムリークディテクター(漏れ検査装置)...

2016真空展・紙上プレビュー(上)VATほか (2016/8/29 機械・ロボット・航空機2)

今回は、真空ポンプや真空計、成膜コントローラー、リークディテクターなど各種真空コンポーネントのほか、電子部品向け製造装置、真空蒸留装置、真空用材料など、同社およびグループ企業の新製品や充実したラインア...

スマートフォンやサーバー向けのIC市場が堅調に推移し、原油安で落ち込むポンプやコンプレッサー・タービン事業の落ち込みを補っている。... 「半導体製造装置事業は30年の歴史があり、CMPや(半...

(総合1参照) アルバックは従来機種と同等の排気速度を維持しながら、体積を約半分にしたドライ真空ポンプを紹介する。... 展示ブースでは異物混入を防ぐドライ真空ポンプ...

真空環境における大気の漏れを検知する装置で、ロータリーポンプを採用。... その他、ベンチトップ型ガス分析計、各種真空計、潤滑油不要のドライポンプなどを展示する。

□■□■ 【真空ポンプを大幅小型化/荏原】 荏原は小型・空冷式ドライ真空ポンプ「EV―A10型=写真」を出展する。... 【異...

サムコはアジア市場向けに低価格の発光ダイオード(LED)用ドライエッチング装置「RIE―331iPC=写真」を12月に発売すると29日発表した。... 円高を生かし真空部品や高...

真空含浸を手がけるプラセラム(東京都青梅市、桑富栄社長、0428・31・9121)では、真空ポンプで細孔の中の空気を取り除き、薬液を染み込ませる。... 最近ではメンテナンスが簡単なド...

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