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大電力パルス電源で高密度プラズマを発生させて成膜する大電力マグネトロンスパッタリング(HiPIMS)方式を採用して実現。

VACUUM2023真空展/紙上プレビュー(3) (2023/10/31 機械・ロボット・航空機1)

【テクノポート/高い安定性でパルス任意制御】 テクノポート(東京都墨田区)は、スウェーデン・アイオノーティクスの大電力パルスマグネトロン...

国際核融合炉プロにも参画 パルスパワー技術研究所(滋賀県草津市、徳地明社長)は、瞬間的に発生する大電力「パルスパワー」に関する技術支援や実験品試作、共同研究などを行っ...

緻密で平滑な成膜を実現するスパッタリングでは一般的に高価な専用パルス電源を使うこともある。神港精機の新装置は、同電源を使わなくても構成でき、導入コストを抑えられる。

VACUUM2020真空展 ONLINE/注目の製品・サービス(2) (2020/10/15 機械・ロボット・航空機1)

東京電子/高品質のDLC成膜を可能に 東京電子(東京都国分寺市、042・329・5090)は、スパッタ用パルス電源「HiPIMS用電源=写真」を出品...

2019真空展/紙上プレビュー(下)芝浦メカトロニクスほか (2019/8/29 機械・ロボット・航空機1)

【東京電子/スパッタ用パルス電源を出展】 東京電子(東京都国分寺市、042・329・5090)は、スパッタ用パルス電源「HiPIMS用電源=写真」を...

ニチコン・理研など、XFEL向けパルス電源開発 (2018/6/18 電機・電子部品・情報・通信)

ニチコンは理化学研究所などと、次世代の炭化ケイ素(SiC)製パワー半導体素子を使った、X線自由電子レーザー(XFEL)向けパルス電源を共同開発した。

パワー半導体新潮流(4)ローム・伊野和英氏−次世代SiC―MOSFET、商品化 (2017/11/30 電機・電子部品・情報・通信2)

「ダイオードでは、順方向電圧(VF)の性能で他社と差別化し、電源や太陽光発電向けで参入している。... 一方でMOSFETとしては、電磁誘導加熱(IH)やパルス電源など...

【京都電機器/スパッタリング電源などを展示】 京都電機器(京都府宇治市、0774・25・7711)は、電源応用機器メーカーとして蓄積した技術、ノウハウを基に...

【CI確立】 1949年創業の栗田製作所(京都府宇治田原町)は、パルス電源やプラズマ発生装置、成膜装置などを手がけるモノづくり企業だ。... そして多くの大学の先生か...

「ナノ(ナノは10億分の1)秒パルス電源」を作製し、高電圧を瞬間的にかけることで樹脂が壊れないよう工夫を施した。... そのため短時間だけかけられる電源を開発し、フィラーの化学構造も工...

量産機には最大出力100キロワット超の大電力パルス電源と放電電極を新設する。

真空装置内に成膜ガスを供給した後、パルス電源でプラズマを発生させて引き込み、成膜する仕組みだ。... 急速な立ち上がり速度を持ち、減圧、真空などで幅広く使われる高圧パルス電源や、ナノ材料やカーボンナノ...

実験では常温で液体のVXガスをガラス板上に乗せ、高出力のパルス電源によって生成したヘリウムのプラズマを照射した。

マイクロパルス電源の出力電圧・電流、パルスの幅や間隔をコンピュータープラグラムで制御することで、浸炭しながらGLC膜を形成。

滋賀県は、滋賀県産業支援プラザ(大津市)事業可能性評価委員会「めきき・しが」の評価で、パルスパワー技術研究所(滋賀県栗東市)の「量子ビーム加速用高電圧パルス電源開発事業...

39テーマ(表)のうち、高電圧パルス電源やスマートコンセントなど約3分の1が新規の探索テーマとなる。

【京都】日新電機は3日、100%出資子会社であるNHVコーポレーション(NHVC、京都市右京区)がパルス電子技術(千葉県野田市)の全株式を1日付で取得したと発表...

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